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J-GLOBAL ID：200903071079852384

化学増幅型レジスト用共重合体の製造方法

Inventor：
藤原 匡之

About 藤原 匡之

, 
遠山 昌之

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, 
脇阪 幸也

About 脇阪 幸也

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西田 耕二

About 西田 耕二


Applicant, Patent owner：
三菱レイヨン株式会社

About 三菱レイヨン株式会社


Agent (1)： 金田 暢之 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999175977
Publication number (International publication number)：2001002717
Application date： Jun. 22, 1999
Publication date： Jan. 09, 2001
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 非常に高感度な化学増幅型レジスト組成物のレジスト用樹脂として用いられる共重合体の製造方法を提供する。【解決手段】 酸の作用によりアルカリに対する溶解性が変化するレジスト用樹脂として用いられる共重合体の製造方法であって、重合開始剤として下記式1から8からなる群より選ばれる少なくとも1種を使用して重合を行うことを特徴とする共重合体の製造方法。(式(1)〜(8)中、R1〜R22は、水素、炭素数1〜10の飽和脂肪族炭化水素基、または炭素数1〜10のアルキルエステル基を表す。但し、R1とR2、およびR3とR6はそれぞれいっしょになって、それらが結合している炭素原子と共に員数5〜10の飽和脂肪族単環を形成していてもよい。また、nは、1〜5の整数を表す。)
Claim (excerpt)：
酸の作用によりアルカリに対する溶解性が変化するレジスト用樹脂として用いられる共重合体の製造方法であって、重合開始剤として下記式(1)から(8)からなる群より選ばれる少なくとも1種を使用して重合を行うことを特徴とする共重合体の製造方法。【化1】(式(1)〜(8)中、R1〜R22は、水素、炭素数1〜10の飽和脂肪族炭化水素基、または炭素数1〜10のアルキルエステル基を表す。但し、R1とR2、およびR3とR6はそれぞれいっしょになって、それらが結合している炭素原子と共に員数5〜10の飽和脂肪族単環を形成していてもよい。また、nは、1〜5の整数を表す。)
IPC (5)：
C08F 4/00 ,  C08F 20/10 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (5)：
C08F 4/00 ,  C08F 20/10 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (39)：
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J015AA02 ,  4J015BA05 ,  4J015BA06 ,  4J015BA07 ,  4J015BA08 ,  4J015BA11 ,  4J100AJ02Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL03Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL09Q ,  4J100BA06Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC07P ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100BC37P ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA04 ,  4J100DA39 ,  4J100FA03 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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