Pat

J-GLOBAL ID：200903071341894662

感光性樹脂組成物及びそのパターン形成方法

Inventor： 竹田 敏郎 ,  指田 暢幸 ,  真壁 裕明 ,  竹田 直滋
Applicant, Patent owner： 住友ベークライト株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995282300
Publication number (International publication number)：1997127695
Application date： Oct. 31, 1995
Publication date： May. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 密着性に優れ、高解像度のパターンが得られる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 特定構造のポリアミド酸エステル、エポキシ基を有するシランカップリング剤と芳香族ジアミンとの反応物である有機ケイ素化合物、光重合開始剤及び/又は光増感剤を必須成分とする感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)下記一般式(1a)、(1b)及び(1c)で示されるポリアミド酸エステル、【化1】(B)下記一般式(2)で示される有機ケイ素化合物、【化2】(C)光重合開始剤及び/又は光増感剤を必須成分とすることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 501 ,  C08K 5/54 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/32

FI (5)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 501 ,  C08K 5/54 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• ネガ型感光性樹脂組成物およびそのパターン形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-284722   Applicant：住友ベークライト株式会社
• 感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-238600   Applicant：住友ベークライト株式会社
• 特開昭62-095323
  
• ポリイミドのパターン形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-221188   Applicant：旭化成工業株式会社