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J-GLOBAL ID：200903071494255219

超音波振動切削装置

Inventor：
熊谷 壮祐

About 熊谷 壮祐


Applicant, Patent owner：
株式会社ディスコ

About 株式会社ディスコ


Agent (3)： 亀谷 美明 ,  金本 哲男 ,  萩原 康司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005303938
Publication number (International publication number)：2007111803
Application date： Oct. 19, 2005
Publication date： May. 10, 2007
Summary：
【課題】 切削ブレードにおいて大きな横振れが発生するのを防止することの可能な超音波振動切削装置を提供する。【解決手段】 スピンドル25と,スピンドル25を回転可能に支持するスピンドルハウジング26と,切削砥石部23と切削砥石部23を支持する基台部21とを有し,スピンドル25の先端部に固定される切削ブレード22と,スピンドル25に設けられて超音波振動する振動子33とを備え,振動子33からスピンドル25の軸方向に伝達される超音波振動の振動方向を切削ブレード22の径方向に変換し,当該径方向に超音波振動する切削ブレード22によって被加工物12を切削する超音波振動切削装置10が提供される。切削ブレード22の切削砥石部23の外周部に,複数のスリット23aが形成されることにより,切削砥石部23の横振れ,特に切削砥石部23の径方向の長さhが刃厚tの約20倍を超えるときに発生する大きな横振れを防止できる。【選択図】 図7
Claim (excerpt)：
スピンドルと,前記スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと,切削砥石部と前記切削砥石部を支持する基台部とを有し,前記スピンドルの先端部に固定される切削ブレードと,前記スピンドルに設けられて超音波振動する振動子と,を備え, 前記振動子から前記スピンドルの軸方向に伝達される超音波振動の振動方向を前記切削ブレードの径方向に変換し,当該径方向に超音波振動する前記切削ブレードによって被加工物を切削する超音波振動切削装置において: 前記切削ブレードの前記切削砥石部の外周部に,複数のスリットを形成することを特徴とする,超音波振動切削装置。
IPC (7)：
B24B 27/06 ,  B24B 1/04 ,  B24B 41/04 ,  B24B 47/12 ,  H01L 21/301 ,  B24D 5/12 ,  B24D 5/00
FI (7)：
B24B27/06 J ,  B24B1/04 B ,  B24B41/04 ,  B24B47/12 ,  H01L21/78 F ,  B24D5/12 Z ,  B24D5/00 P
F-Term (30)：
3C034AA19 ,  3C034BB01 ,  3C034BB28 ,  3C034BB52 ,  3C049AA03 ,  3C049AA09 ,  3C049AA16 ,  3C049CA05 ,  3C049CB02 ,  3C049CB03 ,  3C049CB05 ,  3C049CB10 ,  3C058AA04 ,  3C058AA09 ,  3C058AA14 ,  3C058AA16 ,  3C058CB02 ,  3C058CB05 ,  3C058CB06 ,  3C058CB10 ,  3C058DA10 ,  3C058DA17 ,  3C063AA02 ,  3C063AB03 ,  3C063BA23 ,  3C063BB02 ,  3C063BC02 ,  3C063CC12 ,  3C063EE10 ,  3C063EE31
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (2)

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