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J-GLOBAL ID：200903071815743253

ガス処理装置

Inventor： 浅野 啓行
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (4)： 高橋 省吾 ,  稲葉 忠彦 ,  村上 加奈子 ,  中鶴 一隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003294962
Publication number (International publication number)：2005058586
Application date： Aug. 19, 2003
Publication date： Mar. 10, 2005
Summary：

【課題】 従来のガス処理装置では臭気を含んだ空気は強誘電体5を通過せねばならず、空気の流れに圧力損失が生じ、空気が流れにくく、処理量を大きくすることができないと言う問題点があった。【解決手段】 マグネトロン12のマイクロ波を矩形導波管15に伝送し、同軸導波管20に送り込む。同軸導波管20の内導体18先端間隙部ではマイクロ波は大気圧プラズマ21を生成する。この大気圧プラズマ21をマイクロ波の伝送経路でもある矩形導波管15と同軸導波管20を経由した気体流量でもって、臭気ガスが通過するダクト25内に噴出させる。ポンプ22に設置された流量計22bはダクト25内の流速を測定しその情報を制御器31に送出する。制御器31は流量計の情報に基づきマグネトロン12のマイクロ波パワーを自動調整し、ダクト25内のプラズマ温度を制御する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

マイクロ波パワーを発生するマイクロ波源と、マイクロ波パワーを伝送する矩形導波管と、矩形導波管内のマイクロ波パワーを同軸導波管に送り込む変換器と、同軸導波管のマイクロ波パワーを放電によりプラズマに生成する同軸導波管電極先端間隙部と、同軸導波管電極先端間隙部で生じたプラズマを矩形導波管と同軸導波管を経由した気体流量でもってガスが通過する経路を構成するダクト内に押し出す手段と、ダクト内の気体の流量を測定する流量測定手段と、流量測定手段からの情報に基づきマイクロ波源のマイクロ波パワーを調整する制御器とを備えたガス処理装置。

IPC (4)：

A61L9/00 ,  B01D53/32 ,  B01D53/38 ,  B01J19/08

FI (4)：

A61L9/00 Z ,  B01D53/32 ,  B01J19/08 E ,  B01D53/34 116Z

F-Term (25)：

4C080AA09 ,  4C080BB02 ,  4C080CC01 ,  4C080CC14 ,  4C080MM40 ,  4C080QQ01 ,  4C080QQ12 ,  4D002AB02 ,  4D002AC10 ,  4D002BA07 ,  4D002CA20 ,  4D002GA02 ,  4D002GA03 ,  4D002GB01 ,  4D002GB02 ,  4D002GB20 ,  4D002HA01 ,  4G075AA03 ,  4G075BA05 ,  4G075CA15 ,  4G075CA26 ,  4G075CA47 ,  4G075EB44 ,  4G075FB06 ,  4G075FC06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 脱臭装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-021695   Applicant：三菱電機株式会社

Cited by examiner (3)

• ガス分解装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-364031   Applicant：三菱電機株式会社
• 排気ガス処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-025604   Applicant：株式会社明電舎
• マイクロ波プラズマトーチ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-091470   Applicant：三菱電機株式会社