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J-GLOBAL ID:200903072018079310
液晶ディスプレイ用透明導電基板および透明電極形成方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
泉名 謙治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996317135
Publication number (International publication number):1997236811
Application date: Nov. 13, 1996
Publication date: Sep. 09, 1997
Summary:
【要約】【課題】低比抵抗で、耐久性に優れ、微細電極加工性能に優れた液晶ディスプレイ用透明導電基板と該基板の透明電極形成方法の提供。【解決手段】基体1上に、基体側から、第1層目にZnOを主成分とする膜2、第2層目にAgを主成分とする膜3、第3層目にZnOを主成分とする膜4、のごとく交互に順に(2n+1)(ただしn≧1)層まで積層された液晶ディスプレイ用透明導電基板とその透明電極形成方法。
Claim (excerpt):
基体上に透明導電積層膜が形成された液晶ディスプレイ用透明導電基板において、透明導電積層膜は、基体側から、第1層目にZnOを主成分とする膜、第2層目にAgを主成分とする膜、第3層目にZnOを主成分とする膜、のごとく交互に順に(2n+1)(ただしn≧1)層まで積層された積層膜であることを特徴とする液晶ディスプレイ用透明導電基板。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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特開平4-340522
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透明導電膜
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-224673
Applicant:旭硝子株式会社
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熱線遮断膜とその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-324183
Applicant:旭硝子株式会社
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透明導電膜のエッチング方法及び装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-298397
Applicant:株式会社日立製作所
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