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J-GLOBAL ID:200903072178418935
半導体レーザ装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
竹村 壽
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997160696
Publication number (International publication number):1998335742
Application date: Jun. 04, 1997
Publication date: Dec. 18, 1998
Summary:
【要約】【課題】 量子井戸層を薄くすることにより利得を増大させ、発振波長が650nmでありながらしきい値低下、発光効率の改善、高温動作時の電流低減などの温度特性の良いMQW活性領域を有する半導体レーザ装置を提供する。【解決手段】 GaAs基板1にぼぼ格子整合するInGaAIP系活性領域3がInGaPを量子井戸層11とする多重量子井戸構造(MQW)になっており、電流注入による発振波長が670nm以下の場合に、InGaPの量子井戸層11の厚さ(Lz)を8nmより小さくしてGaAs基板1より大きい格子定数を持つように格子不整合を作り、さらに量子井戸層11に圧縮歪を加える。量子井戸層11を薄くして圧縮歪を入れることにより利得を増大させ、発振波長が650nmのレーザのしきい値低下、効率の改善、高温動作時の電流低減などの温度特性の改善がなされる。
Claim (excerpt):
第1導電型GaAs基板と、前記GaAs基板の第1の主面上に形成された少なくとも1層からなる第1導電型In0.5 (Ga1-x A1x )0.5 Pクラッド層と、前記第1導電型クラッド層上に形成され、活性領域を構成する少なくとも一層からなる第1のIn0.5 (Ga1-y A1y )0.5 Pガイド層と、前記第1のガイド層上に形成され、前記活性領域を構成する複数層の量子井戸層と、前記量子井戸層間に形成され、前記活性領域を構成するIn0.5 (Ga1-y A1y )0.5 Pバリア層と、前記量子井戸層上に形成され、前記活性領域を構成する少なくとも一層からなる第2のIn0.5 (Ga1-y A1y )0.5 Pガイド層と、前記第2のガイド層上に形成された少なくとも一層からなる第2導電型In0.5 (Ga1-x A1x )0.5 Pクラッド層とを備え、前記量子井戸層は、厚さが8nm未満で圧縮歪が入っており、前記第1導電型及び第2導電型クラッド層のA1組成比は、前記第1及び第2のガイド層のA1組成比より大きい(x>y)ことを特徴とする半導体レーザ装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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半導体レーザ素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-320021
Applicant:三洋電機株式会社
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半導体レーザ素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-236839
Applicant:三洋電機株式会社
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半導体レーザ素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-232832
Applicant:株式会社日立製作所
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半導体レーザ素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-216361
Applicant:三洋電機株式会社
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