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J-GLOBAL ID：200903072201099800

検出器対物レンズ装置

Inventor：
コウシ ウエダ

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トシミチ イワイ

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ゲラルド シェーネッカー

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ユルゲン フロジエン

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Applicant, Patent owner：
エイシーティー アドバンスト サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュア テストジュステームエントヴィックリング ミット ベシュレンクテル ハフツング

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Agent (1)： 松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997173615
Publication number (International publication number)：1998064464
Application date： Jun. 30, 1997
Publication date： Mar. 06, 1998
Summary：
【要約】【課題】 試験片にて放出された荷電粒子の質的評価を改良し、解像特性を犠牲にすることなく検出の質を改善することを目的とする。【解決手段】 荷電粒子線装置(1) のための検出器対物レンズ装置(6,6')は、磁気レンズ(60)及び電界レンズ(61)からなる主レンズと試験片にて放出された荷電粒子を検出するための検出器(62)とを有し、更に、試験片にて放出された荷電粒子に対して影響を与えるために静電場及び/ 又は磁場を生成するための付加レンズ(64)が主レンズと検出器の間に設けられる。主レンズと付加レンズの場(9,10)は実質的に互いに分離されている。
Claim (excerpt)：
磁気レンズ(60)と電界レンズ(61)からなり荷電粒子線を試験片上に焦点合わせするための主レンズと、上記試験片にて放出された荷電粒子を検出するために荷電粒子線(2) 方向に上記磁気レンズ(60)の前方に配置された検出器(62)と、を有する荷電粒子線装置(1) のための検出器対物レンズ装置(6,6')において、上記荷電粒子に対して影響を与えるために静電場及び/ 又は磁場を生成するための付加レンズ(64)が上記主レンズと上記検出器の間に設けられ、上記主レンズと上記付加レンズの場(9,10)は実質的に互いに分離されていることを特徴とする検出器対物レンズ装置。
IPC (2)：
H01J 37/145 ,  H01J 37/141
FI (2)：
H01J 37/145 ,  H01J 37/141 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
  • 荷電粒子線装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-112884   Applicant：株式会社ニコン
  • 走査電子顕微鏡と二次電子検出系
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-219851   Applicant：株式会社日立製作所
  • 特開平1-298633
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