感光性フィルム用感光性樹脂組成物および感光性フィルム

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：志賀正武 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999142476
Publication number (International publication number)：2000330272
Application date： May. 21, 1999
Publication date： Nov. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】解像度、基板への密着性に優れ、現像後に形成されるレジストパターンを20μm以下の線幅で安定して形成することができる感光性フィルム用感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性フィルムを提供する。【解決手段】アクリル系高酸価樹脂を含有する感光性フィルム用感光性樹脂組成物であって、前記アクリル系高酸価樹脂が、(メタ)アクリル酸と、ベンジル(メタ)アクリレートまたは炭素数12〜18のアルキル基を有するアルキル(メタ)アクリレート2〜50重量%とを構成単量体として含む共重合体であり、前記アクリル系高酸価樹脂の重量平均分子量が、8,000〜200,000であり、前記アクリル系高酸価樹脂の分子量分布(Mw/Mn)が、2.5以下である感光性フィルム用感光性樹脂組成物、およびこれからなる感光層を有する感光性フィルム。

Claim (excerpt)：

アクリル系高酸価樹脂を含有する感光性フィルム用感光性樹脂組成物であって、前記アクリル系高酸価樹脂が、(メタ)アクリル酸と、ベンジル(メタ)アクリレートまたは炭素数12〜18のアルキル基を有するアルキル(メタ)アクリレート2〜50重量%とを構成単量体として含む共重合体であり、前記アクリル系高酸価樹脂の重量平均分子量が、8,000〜200,000であり、前記アクリル系高酸価樹脂の分子量分布(Mw/Mn)が、2.5以下であることを特徴とする感光性フィルム用感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/004 512 , C08F220/06 , C08F220/18 , G03F 7/033 , H05K 3/06

FI (5)：

G03F 7/004 512 , C08F220/06 , C08F220/18 , G03F 7/033 , H05K 3/06 H

F-Term (44)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA14 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC43 , 2H025BC66 , 2H025BC74 , 2H025CA01 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB43 , 2H025CB54 , 2H025CB55 , 2H025CB56 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J100AB02R , 4J100AG04R , 4J100AJ02P , 4J100AL03R , 4J100AL04R , 4J100AL05Q , 4J100AL08Q , 4J100AL09R , 4J100AM02R , 4J100BC43Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100DA01 , 4J100DA04 , 4J100JA37 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CC10 , 5E339CD01 , 5E339CE12 , 5E339CE16 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339DD02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

感光性樹脂組成物、感光性シート及び金属配線基板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-331481 Applicant：富士写真フイルム株式会社
感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-264072 Applicant：日立化成工業株式会社
特開昭62-295046

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