感光性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：若林忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997166068
Publication number (International publication number)：1999015160
Application date： Jun. 23, 1997
Publication date： Jan. 22, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】遠紫外線に対して透明性に優れ、かつ遠紫外線の露光光に対して、高い感度および解像度を示す感光性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】一般式(1)(1)(式中、R<SP>1</SP> ,R<SP>3</SP> ,R<SP>5</SP> は水素原子あるいはメチル基、R<SP>2</SP> は炭素数7から22の有橋環式炭化水素基、R<SP>4</SP> はエポキシ基を有する炭化水素基、x+y+z=1,0<x≦0.7,0≦y<1,0<z≦1を表す。)の繰り返し単位を有し、重量平均分子量が1000〜500000の重合体75〜99.8重量部と、光酸発生剤0.2〜25重量部とを含有する感光性樹脂組成物。この組成物は多官能エポキシ化合物を含有してもよい。この組成物を被加工基板上に塗布し、加熱したのち活性光線にて露光し、次いで加熱処理をした後現像してパターンを形成する。

Claim (excerpt)：

一般式(1)【化1】(1)(式中、R<SP>1</SP> ,R<SP>3</SP> ,R<SP>5</SP> は水素原子あるいはメチル基、R<SP>2</SP> は炭素数7から22の有橋環式炭化水素基、R<SP>4</SP> はエポキシ基を有する炭化水素基、x+y+z=1,0<x≦0.7,0≦y<1,0<z≦1である。)で表される繰り返し単位を有し、重量平均分子量が1000〜500000の重合体75〜99.8重量部と、光酸発生剤0.2〜25重量部とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/038 601 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/038 601 , G03F 7/004 503 Z , G03F 7/033 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-137559 Applicant：日本合成ゴム株式会社
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-201057 Applicant：日本合成ゴム株式会社
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-065454 Applicant：日本合成ゴム株式会社

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