共重合ポリシロキサンおよび感放射線性樹脂組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福沢俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000107207
Publication number (International publication number)：2001288268
Application date： Apr. 07, 2000
Publication date： Oct. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】 193nm以下の波長において透明性が高く、かつ耐ドライエッチング性に優れた特定の共重合ポリシロキサン、並びに該共重合ポリシロキサンを含有する感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】共重合ポリシロキサンは、2-t-ブトキシカルボニルエチルトリメトキシシラン等の酸解離性有機基含有3官能シラン化合物および/または2-t-ブトキシカルボニルエチルメチルジメトキシシラン等の酸解離性有機基含有2官能シロキサン化合物とメチルトリメトキシシラン等の他の3官能シロキサン化合物との共縮合により得られる部分的にラダー構造をもつ共重合ポリシロキサンに代表される。感放射線性樹脂組成物は、(A)前記共重合ポリシロキサンからなるアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂あって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)に示す構造単位(I)および/または構造単位(II)と構造単位(III) とを有する共重合ポリシロキサン。【化1】〔一般式(1)において、A1 およびA2 は相互に独立に酸により解離する酸解離性基を有する1価の有機基を示し、R1 は水素原子、炭素数1〜20の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、炭素数1〜20の直鎖状もしくは分岐状のハロゲン化アルキル基、炭素数6〜20の1価の芳香族炭化水素基または炭素数6〜20の1価のハロゲン化芳香族炭化水素基を示し、R2 は炭素数1〜20の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、炭素数1〜20の直鎖状もしくは分岐状のハロゲン化アルキル基、炭素数6〜20の1価の芳香族炭化水素基または炭素数6〜20の1価のハロゲン化芳香族炭化水素基を示す。〕

IPC (5)：

C08G 77/14 , C08K 5/00 , C08L 83/06 , G03F 7/039 601 , G03F 7/075 511

FI (5)：

C08G 77/14 , C08K 5/00 , C08L 83/06 , G03F 7/039 601 , G03F 7/075 511

F-Term (46)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J002CP041 , 4J002CP051 , 4J002CP081 , 4J002EB106 , 4J002EB126 , 4J002EQ016 , 4J002EU186 , 4J002EV216 , 4J002EV246 , 4J002EV296 , 4J002FD200 , 4J002FD310 , 4J002GP03 , 4J002HA05 , 4J035BA04 , 4J035CA01K , 4J035CA02K , 4J035CA022 , 4J035CA06N , 4J035CA061 , 4J035CA072 , 4J035CA10N , 4J035CA101 , 4J035CA172 , 4J035CA182 , 4J035CA25M , 4J035CA262 , 4J035EA01 , 4J035EB03 , 4J035EB04 , 4J035EB10 , 4J035LB16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

放射線感応性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-124774 Applicant：沖電気工業株式会社
高分子シリコーン化合物、化学増幅ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-029321 Applicant：信越化学工業株式会社
特開昭62-220949

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