薄膜熱物性測定装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007235520
Publication number (International publication number)：2009068904
Application date： Sep. 11, 2007
Publication date： Apr. 02, 2009
Summary：

【課題】加熱用パルス光を用いて、薄膜の熱物性値を測定することができる薄膜熱物性測定装置を提供する。【解決手段】薄膜熱物性測定装置において、薄膜を加熱する加熱用パルスレーザと、前記加熱用パルス光を導く光ファイバと、前記加熱用パルス光の発光時刻を計測する手段と、該薄膜の温度変化を検出する連続光の測温用レーザと、前記測温用レーザ光の反射光を検出する手段と、前記測温用レーザ光の反射光の強度を測定する手段と、加熱用パルス光の発光時刻からの経過時間の関数として反射光の強度を記録する手段と、記録された該測温用レーザの反射光の強度の時間変化に基づいて熱物性値を算出する手段を備え、また、前記記録手段が、記録開始するまでの最短時間がtsで、光速をcとすると、前記加熱用パルス光の計測手段までの距離L1に対して、前記入射端から前記薄膜を照射する出射端までの距離L2は、c×ts/n以上長いことを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

薄膜を瞬間的に加熱するための加熱用パルス光を発する加熱用パルスレーザと、前記加熱用パルス光を入射するための入射端と、該加熱用パルス光の発光時刻を計測するために用いられる出射端と、該加熱用パルス光を薄膜へ照射するために用いられる出射端を備える屈折率nの光ファイバと、前記光ファイバから出射される前記加熱用パルス光の発光時刻を計測するための手段と、前記薄膜表面の反射率の温度依存性を用いて該薄膜の温度変化を検出するために、該薄膜の測定部へと照射される連続光の測温用レーザ光を発する測温用レーザと、前記測温用レーザ光の反射光を検出する手段と、前記加熱用パルス光の発光時刻からの経過時間の関数として反射光の強度を記録する手段と、前記記録された反射光の強度の時間変化に基づいて熱物性値を算出する手段とを、備えた薄膜熱物性測定装置であって、前記加熱用パルス光が前記発光時刻を計測するための手段に到達してから、前記反射光の強度を記録する手段が、実際に前記測温用レーザ光の反射光の強度を記録し始めるまでの最短時間がtsであり、真空中の光速がcであるとき、前記光ファイバの入射端から前記加熱用パルス光の発光時刻を計測するために用いられる出射端までの長さL1に対して、該入射端から前記加熱用パルス光を薄膜へ照射するために用いられる出射端までの長さL2は、c×ts/n以上長いことを特徴とする薄膜熱物性測定装置。

IPC (1)：

G01N 25/18

FI (1)：

G01N25/18 H

F-Term (9)：

2G040AB09 , 2G040BA08 , 2G040BA26 , 2G040CA01 , 2G040CA23 , 2G040DA05 , 2G040DA12 , 2G040EA06 , 2G040EC02

Patent cited by the Patent：

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高速パルス高速時間応答測定方法並びに装置
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