X線発生装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996132410
Publication number (International publication number)：1997320794
Application date： May. 27, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】長時間安定して使用できるX線発生装置を提供する。【解決手段】標的部材414及び/又はプラズマ413から放出される飛散粒子がX線を取り出す範囲に相当する立体角領域412内に進入するのを阻止する部材であり、立体角領域412内にある飛散粒子がバッファガスにより拡散排除されやすい形状及び/または空間を有する飛散粒子阻止部材402(403、404、405、406、407)を、立体角領域412に隣接または近接させて設ける。

Claim (excerpt)：

減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成させ、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置であり、前記標的部材及び/又は前記プラズマから放出される飛散粒子を阻止するためにバッファガスを用いるX線発生装置において、前記標的部材及び/又は前記プラズマから放出される飛散粒子が前記X線を取り出す範囲に相当する立体角領域内に進入するのを阻止する部材であり、該立体角領域内にある飛散粒子が前記バッファガスにより拡散排除されやすい形状及び/または空間を有する飛散粒子阻止部材を、前記立体角領域に隣接または近接させて設けたことを特徴とするX線発生装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

X線装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-046288 Applicant：株式会社ニコン
X線発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-174602 Applicant：株式会社ニコン
X線発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-216131 Applicant：株式会社ニコン

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