ウェハテーブルの移動制御方法および移動制御装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石原勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999088499
Publication number (International publication number)：2000286323
Application date： Mar. 30, 1999
Publication date： Oct. 13, 2000
Summary：

【要約】【課題】シート保持リングの突き上げユニットに対する干渉を簡単な制御処理によって確実に阻止しながらウェハテーブルの移動を制御することのできる移動制御方法および移動制御装置を提供する。【解決手段】シート保持リング2の中心点O2が、突き上げユニット32の中心点O3を中心とし、且つシート保持リング2の内周面の半径Rから突き上げユニット32の半径rを減算した長さよりも僅かに短い半径Aを有する円内を平面方向に自在に変位するように、ウェハテーブル1の移動範囲を機械的に制限する。

Claim (excerpt)：

ウェハを貼着したダイシングシートが上端開口に取り付けられた円筒状のシート保持リングを一体的に備えたウェハテーブルを、前記ウェハを個片に分割した各半導体ベアチップを1個ずつ前記シート保持リングの内方に位置する突き上げユニットに対し順次位置決めするよう移動制御する方法において、前記シート保持リングの中心点が、前記突き上げユニットの中心点を中心とし、且つ前記シート保持リングの内周面の半径から前記突き上げユニットの半径を減算した長さよりも僅かに短い半径を有する円内を平面方向に自在に変位するように、前記ウェハテーブルの移動範囲を機械的に制限するようにしたことを特徴とするウェハテーブルの移動制御方法。

IPC (2)：

H01L 21/68 , H01L 21/301

FI (2)：

H01L 21/68 E , H01L 21/78 N

F-Term (12)：

5F031CA13 , 5F031DA13 , 5F031HA57 , 5F031HA59 , 5F031KA06 , 5F031KA11 , 5F031LA07 , 5F031LA12 , 5F031LA13 , 5F031MA34 , 5F031MA38 , 5F031MA40

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

ダイボンディング方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-062347 Applicant：松下電器産業株式会社
X-Yステージ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-046201 Applicant：富士通株式会社
レジスト堆積方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-214426 Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション

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