積層一体焼成型の電気機械変換素子

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：高橋祥泰 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001376241
Publication number (International publication number)：2002261343
Application date： Dec. 10, 2001
Publication date： Sep. 13, 2002
Summary：

【要約】【課題】 Ag-Pd系電極と同等以上の電極特性を有し,かつ低コストの電極材料を用いた積層一体焼成型の電気機械変換素子,特に,内部電極層の剛性が低く,セラミック層の伸縮時に発生する内部応力が小さいものを提供すること。【解決手段】圧電セラミックスあるいは電歪セラミックスよりなる複数層のセラミック層11と,セラミック層11間に介在させた内部電極層21,22とを一体的に焼成してなる積層体を有する積層一体焼成型の電気機械変換素子1において,内部電極層21,22は剛性率が160GPa以下の卑金属を主成分とする。

Claim (excerpt)：

圧電セラミックスあるいは電歪セラミックスよりなる複数層のセラミック層と,該セラミック層間に介在させた内部電極層とを一体的に焼成してなる積層体を有する積層一体焼成型の電気機械変換素子において,上記内部電極層は剛性率が160GPa以下の卑金属を主成分とすることを特徴とする積層一体焼成型の電気機械変換素子。

IPC (6)：

H01L 41/083 , C04B 35/49 , F02M 51/00 , H01L 41/09 , H01L 41/107 , H01L 41/187

FI (6)：

C04B 35/49 A , F02M 51/00 E , H01L 41/08 Q , H01L 41/18 101 D , H01L 41/08 U , H01L 41/08 A

F-Term (32)：

3G066AA07 , 3G066AB02 , 3G066AC09 , 3G066AD12 , 3G066BA19 , 3G066BA46 , 3G066BA61 , 3G066CC06T , 3G066CC14 , 3G066CC64U , 3G066CC66 , 3G066CC67 , 3G066CC68T , 3G066CC68U , 3G066CC69 , 3G066CC70 , 3G066CD15 , 3G066CD17 , 3G066CD18 , 3G066CD28 , 3G066CD30 , 3G066CE13 , 3G066CE27 , 3G066CE31 , 4G031AA11 , 4G031AA12 , 4G031AA17 , 4G031AA18 , 4G031AA32 , 4G031AA39 , 4G031BA10 , 4G031CA03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

多層圧電素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-286118 Applicant：株式会社住友金属エレクトロデバイス
特開平4-324687
積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-094116 Applicant：日産自動車株式会社

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