可動窓付きウエハ研磨器

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999063211
Publication number (International publication number)：1999320373
Application date： Mar. 10, 1999
Publication date： Nov. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】 CMP工程中のウェーハの現場モニターのために使用される可動式窓付きの研磨器を提供すること。【解決手段】ほとんどのCMP工程中において、研磨処理の有害な影響から窓を保護するために窓は研磨器の研磨面より下にある。窓がウェーハと測定センサーの間の位置に移動するとき、窓は研磨面により近づくことになる。この位置において前記窓のへこみに溜った少なくともいくらかの研磨剤は除去されるので、研磨剤による障害物が低減された状態で、現場測定を実施することができる。窓はウェーハと測定センサーから遠ざかった後、窓はウェーハと研磨面から更に遠のいた位置に移動する。このような可動式窓を使用すると、現行の研磨器に付随する制限を克服できる。

Claim (excerpt)：

研磨面を含み且つ閉ループ型形状であるベルトと、第1面を含み且つ第1位置と第2位置の間を移動するため前記ベルトに内に移動可能に配置された窓であって、前記第1面は前記第1位置よりも前記第2位置において前記研磨面により接近する、そのような窓とから成ることを特徴とする化学機械研磨部材。

IPC (3)：

B24B 21/18 , B24B 37/04 , B24B 49/12

FI (3)：

B24B 21/18 Z , B24B 37/04 K , B24B 49/12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドへの透明窓の形成
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-221737 Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
加工量モニターウエハ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-190076 Applicant：東芝セラミックス株式会社
ポリッシング装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-208814 Applicant：株式会社荏原製作所

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