光スイッチ及びその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：村井隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997304970
Publication number (International publication number)：1999119123
Application date： Oct. 20, 1997
Publication date： Apr. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 V字型溝により光ファイバーの位置決めを正確に行うとともに可動ミラーと光ファイバーの光路との位置合わせを正確に実行可能な光スイッチを提供する。【解決手段】主面が(100)面のSi基板1にミラー配置用空間2を形成するとともに複数の光ファイバー固定のためのV字型溝3を形成し、前記Si基板1の主面上に成膜された膜の一部でミラー構造体11を形成し、該ミラー構造体11の表面に反射膜を設けて可動ミラー10とし、前記V字型溝3に光ファイバー21〜24を固定し、前記可動ミラー10を複数の光ファイバー間の前記ミラー配置用空間2に配して、前記可動ミラー10の駆動により光路を変更する構成である。

Claim (excerpt)：

主面が(100)面のSi基板にミラー配置用空間を形成するとともに複数の光ファイバー固定のためのV字型溝を形成し、前記Si基板の主面上に成膜された膜の一部でミラー構造体を形成し、該ミラー構造体の表面に反射膜を設けて可動ミラーとし、前記V字型溝に光ファイバーを固定し、前記可動ミラーを複数の光ファイバー間の前記ミラー配置用空間に配して、前記可動ミラーの駆動により光路を変更すること特徴とする光スイッチ。

IPC (2)：

G02B 26/08 , G02B 6/00

FI (3)：

G02B 26/08 E , G02B 26/08 F , G02B 6/00 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

マトリクス光スイツチ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-301032 Applicant：日本電信電話株式会社
特開昭57-139704
光導波路素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-064559 Applicant：株式会社ニコン

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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