薄膜ガスセンサ

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：森田雄一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006312840
Publication number (International publication number)：2008128773
Application date： Nov. 20, 2006
Publication date： Jun. 05, 2008
Summary：

【課題】ガス感応部の酸素吸着量を一定にして、ガス感応部のセンサ抵抗値の経時変化を抑止し、経時安定性の確保を実現するパルス駆動用の薄膜ガスセンサを提供する。【解決手段】SnO2層521と、酸素供給性物質(セリア・ジルコニア固溶体(CeZrO4)またはセリア(CeO2))による酸素貯蔵層522と、を交互に積層した積層構造によるガス感応層52を搭載することで、ガス感応層52の全域にわたって酸素が行き渡るようにした薄膜ガスセンサ1とした。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

貫通孔を有するSi基板と、この貫通孔の開口部に張られるダイアフラム様の熱絶縁支持層と、熱絶縁支持層上に設けられるヒーター層と、熱絶縁支持層およびヒーター層を覆うように設けられる電気絶縁層と、電気絶縁層上に設けられる一対の感知電極層と、一対の感知電極層を渡されるように電気絶縁層上に設けられるガス感応層と、を備え、前記ガス感応層は、SnO2層と、酸素供給性物質による酸素貯蔵層と、を交互に積層した積層構造による感応層であることを特徴とする薄膜ガスセンサ。

IPC (1)：

G01N 27/16

FI (1)：

G01N27/16 B

F-Term (25)：

2G060AA01 , 2G060AB17 , 2G060AB18 , 2G060AE19 , 2G060AF02 , 2G060AF07 , 2G060AG10 , 2G060AG15 , 2G060BA03 , 2G060BB02 , 2G060BB09 , 2G060BB12 , 2G060BB14 , 2G060BB16 , 2G060BB18 , 2G060HA01 , 2G060HB02 , 2G060HB03 , 2G060HB05 , 2G060HB06 , 2G060HC06 , 2G060HC18 , 2G060HD03 , 2G060HE02 , 2G060JA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

薄膜ガスセンサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-184535 Applicant：大阪瓦斯株式会社, 富士電機ホールディングス株式会社
薄膜ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-096951 Applicant：富士電機株式会社
薄膜ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-096952 Applicant：富士電機株式会社

Cited by examiner (6)

酸化物固溶体粒子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-314840 Applicant：株式会社豊田中央研究所
半導体ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-070907 Applicant：エフアイエス株式会社
特開昭63-067556

Show all

Return to Previous Page