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J-GLOBAL ID：200903075718268236

リニアモータ、ステージ装置および露光装置ならびにデバイス製造方法

Inventor： 江本 圭司
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 西山 恵三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001040170
Publication number (International publication number)：2002247830
Application date： Feb. 16, 2001
Publication date： Aug. 30, 2002
Summary：

【要約】【課題】 リニアモータの発熱の外部への流出を抑える。【解決手段】 本発明のリニアモータは、真空雰囲気内で用いられるリニアモータであって、固定子と、該固定子に対して相対的に移動する可動子と、該固定子と可動子のうちの少なくとも一方の表面に設けられた金属膜とを有することを特徴とする。これにより、輻射率を小さくすることができ、リニアモータからの輻射による熱の流出を軽減することができる。

Claim (excerpt)：

真空雰囲気内で用いられるリニアモータであって、固定子と、該固定子に対して相対的に移動する可動子と、該固定子と可動子のうちの少なくとも一方の表面に設けられた金属膜とを有することを特徴とするリニアモータ。

IPC (4)：

H02K 41/02 ,  H01L 21/027 ,  H02K 9/19 ,  H02K 41/03

FI (5)：

H02K 41/02 Z ,  H02K 9/19 A ,  H02K 41/03 A ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 541 L

F-Term (24)：

5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5F056EA14 ,  5H609BB08 ,  5H609BB23 ,  5H609PP02 ,  5H609PP06 ,  5H609PP09 ,  5H609QQ05 ,  5H609QQ10 ,  5H609QQ23 ,  5H609RR32 ,  5H609RR58 ,  5H609RR74 ,  5H641BB06 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641HH03 ,  5H641HH06 ,  5H641JA05 ,  5H641JB04 ,  5H641JB05 ,  5H641JB09 ,  5H641JB10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• キャンド・リニアモータの固定子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-090737   Applicant：株式会社安川電機
• 超電導磁石装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-058557   Applicant：株式会社東芝
• リニアモータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-340881   Applicant：日立金属株式会社, 日立金属機工株式会社
• 地上コイル装置及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-070722   Applicant：東海旅客鉄道株式会社, 三菱電機株式会社
• 位置決めステージ装置およびこれを用いた露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-022081   Applicant：キヤノン株式会社
• 合成樹脂製断熱二重壁容器の製造方法及び合成樹脂製断熱二重壁蓋の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-027152   Applicant：日本酸素株式会社
• かご形誘導電動機、そのステータ鋳造金型およびステータ鋳造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-015281   Applicant：三菱電機株式会社