スパッタ用メタルマスク

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001002324
Publication number (International publication number)：2002212721
Application date： Jan. 10, 2001
Publication date： Jul. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】ブラックマトリックス及び着色画素が形成されたガラス基板上に、スパッタ用メタルマスクを位置を合わせして重ねる際に、ブラックマトリックスや着色画素に傷を付けしまうことのない、また、スパッタを行った直後に異常放電がおこることのない、従って、不良品を発生させないスパッタ用メタルマスクを提供すること。【解決手段】ガラス基板上に重ね合わせて透明導電膜を形成するスパッタ用メタルマスク10において、その開口部11を除いた領域に、樹脂を用いてガラス基板に接触する凸部13を設けたこと。

Claim (excerpt)：

ガラス基板上に重ね合わせて透明導電膜を形成するスパッタ用メタルマスクにおいて、その開口部を除いた領域に、樹脂を用いてガラス基板に接触する凸部を設けたことを特徴とするスパッタ用メタルマスク。

IPC (3)：

C23C 14/34 , C23C 14/50 , H01L 21/203

FI (3)：

C23C 14/34 Z , C23C 14/50 F , H01L 21/203 S

F-Term (9)：

4K029AA09 , 4K029CA05 , 4K029HA02 , 5F103AA08 , 5F103DD30 , 5F103HH04 , 5F103LL20 , 5F103NN10 , 5F103RR04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

有機電界発光装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-286466 Applicant：東レ株式会社
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特開平4-062558

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有機電界発光装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-286466 Applicant：東レ株式会社
スパッタ用治具
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-239217 Applicant：大日本印刷株式会社
液晶表示装置用電極基板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-190821 Applicant：凸版印刷株式会社

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