液晶表示装置用電極基板の製造方法

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996190821
Publication number (International publication number)：1998039289
Application date： Jul. 19, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】ブラックマトリクスとして遮光性樹脂を用いた薄膜トランジスタ方式液晶表示装置用電極基板において、透明導電膜成膜時、メタルマスクとブラックマトリクスの接触によりブラックマトリクス額縁部に発生するキズや汚れを防止する。【解決手段】(1)メタルマスクの開口部の端部に段差をつけ、ブラックマトリクスの額縁部と接触しないようにする。また、(2)メタルマスクの作製時に用いるフォトレジストをそのまま残し、メタルマスクがブラックマトリクスの額縁部と直接接触しないようにする。

Claim (excerpt)：

ブラックマトリクスとして遮光性樹脂を用いた薄膜トランジスタ方式液晶表示装置用電極基板の製造方法において、透明導電膜のマスク成膜の際に用いるメタルマスクの開口部の端部に段差をつけ、該端部がブラックマトリクスの額縁部と接触しないようにしたことを特徴とする液晶表示装置用電極基板の製造方法。

IPC (4)：

G02F 1/1335 500 , G02B 5/00 , G02F 1/1343 , G02F 1/136 500

FI (4)：

G02F 1/1335 500 , G02B 5/00 B , G02F 1/1343 , G02F 1/136 500

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開昭62-164865
スパッタ用治具
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-239217 Applicant：大日本印刷株式会社
ステンシル露光マスク
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-160253 Applicant：凸版印刷株式会社

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