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J-GLOBAL ID：200903075763689862

非平面基板での結像用反射システム

Inventor：
竹田 宣生

About 竹田 宣生


Applicant, Patent owner：
ボール セミコンダクター インコーポレイテッド

About ボール セミコンダクター インコーポレイテッド


Agent (1)： 三好 秀和 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000559475
Publication number (International publication number)：2002520838
Application date： Jul. 09, 1999
Publication date： Jul. 09, 2002
Summary：
【要約】球状半導体基板20等の非平面基板20又は非平面デバイスの表面に像を集束させ、隣接する像間の位置ずれや重複問題を実質的になくすシステム39及び方法。システム39は、リング10に配設された複数のミラー12、14、16、ミラーのリングに対して非平面基板20又は非平面デバイスを配置するために上下運動する支持体24を含む。非平面基板20又は非平面デバイスは、各ミラーが基板の表面に集束された像を反射できるように配置される。像はミラーのリングに対して配置されたマスク26を用いて生成され、非平面基板20又は非平面デバイスの表面に像を投影するように照明される。方法は、非平面基板20又はデバイスをミラーのリング内に配置するステップ、それぞれにステッチング相互接続84aがある複数のセグメント76、78を有するマスク26を作製するステップ、非平面基板20又は非平面デバイスの表面に像を反射させるように、ミラーのリングにマスク26の像を投影するステップとを含む。
Claim (excerpt)：
非平面基板の表面に像を投影するためのシステムであって、 リングに配設され、前記非平面基板の表面上に像を反射させるための複数のミラーと、 前記非平面基板の表面上に像を集束させるための集束手段と、 それぞれのミラーから前記非平面基板の表面上に集束された像を反射させるように、前記ミラーのリングに対して前記非平面基板の位置を決めるための、前記ミラーのリングの中心に対して往復運動する支持体と、 前記非平面基板の表面に前記像が投影されるように、前記ミラーのリングに対して配置された前記像を有するマスク とを備えることを特徴とするシステム。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G02B 17/08 ,  G03F 7/24
FI (4)：
G02B 17/08 Z ,  G03F 7/24 H ,  H01L 21/30 517 ,  H01L 21/30 502 Z
F-Term (7)：
2H087KA21 ,  2H087TA01 ,  5F046BA05 ,  5F046CB03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046DA30
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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