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J-GLOBAL ID：200903075776469942

情報記録媒体作製用原盤および情報記録媒体の各製造方法と露光装置

Inventor：
柏木 俊行

About 柏木 俊行

, 
今西 慎吾

About 今西 慎吾


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998104991
Publication number (International publication number)：1999306602
Application date： Apr. 15, 1998
Publication date： Nov. 05, 1999
Summary：
【要約】【課題】 記録ピットを有する光ディスク等の情報記録媒体作製用原盤の記録ピット形成部の露光パターンの幅が、露光ビームのスポット径に制約されることを解決する。【解決手段】 記録ピットが形成された情報記録媒体を作製する原盤の製造方法であって、基板4上に塗布されたフォトレジスト層5に対して、1本以上の露光ビームを照射して、少なくとも1本の露光ビームを再生線速方向に対応する方向に対して交叉する方向に微小往復振動すなわちウォブリングさせてフォトレジスト層に照射し、目的とする記録ピット幅に対応する幅の露光部を形成する。そして、このフォトレジスト層の露光部を除去する現像処理を行って目的とする情報記録媒体作製用原盤を作製する。
Claim (excerpt)：
記録ピットが形成された情報記録媒体を作製する情報記録媒体作製用原盤の製造方法であって、基板上に塗布されたフォトレジスト層に対して、1本以上の露光ビームを照射して、少なくとも1本の露光ビームを再生線速方向に対応する方向に対して交叉する方向に微小往復振動させて照射し、目的とする記録ピット幅に対応する幅の露光部を形成する露光処理工程と、上記フォトレジスト層の露光部を除去する現像処理を行う現像処理工程とを経て上記原盤の作製を行うことを特徴とする情報記録媒体作製用原盤の製造方法。
IPC (4)：
G11B 7/26 501 ,  G11B 7/00 ,  G11B 7/08 ,  G11B 7/24 561
FI (4)：
G11B 7/26 501 ,  G11B 7/00 K ,  G11B 7/08 ,  G11B 7/24 561 Q
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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