複屈折測定光学系および高空間分解能偏光解析装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：波多野久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997072289
Publication number (International publication number)：1998267831
Application date： Mar. 25, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】空間分解能を高めつつ、対象物の複屈折量を正確に測定する。【解決手段】複屈折測定光学系は、対象物OBに向けて所定の偏光状態となるレーザ光を出射する周波数安定化横ゼーマンレーザ10およびλ/2波長板20(偏光出射光学系)と、このレーザ光を対象物OBを介してその対象物OBの複屈折位相差、主軸方向および旋光角の情報を偏光解析可能な光信号として検出する直線偏光子30(偏光検出光学系)と、この直線偏光子30からの光信号を電気信号に変換して検出する光検出器4とを備える。光検出器4と対象物OBとの間にその対象物OB側から光検出器4側に向けて光信号の光束の一部を取り出して光伝送する光ファイバ5(光伝送路)を配置する。

Claim (excerpt)：

対象物に向けて所定の偏光状態となる光信号を出射する偏光出射光学系と、この偏光出射光学系からの光信号を上記対象物を介してその対象物の複屈折情報を偏光解析可能な光信号として検出する偏光検出光学系と、この偏光検出光学系からの光信号を電気信号に変換して検出する光検出器とを備え、この光検出器と上記対象物との間にその対象物側から上記光検出器側に向けて上記光信号の光束の一部を取り出して光伝送する光伝送路を配置したことを特徴とする複屈折測定光学系。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

複屈折分布測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-301443 Applicant：中井貞雄, 財団法人レーザー技術総合研究所, 富士電機株式会社
特開平4-040341
プローブの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-281720 Applicant：株式会社ニコン

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