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J-GLOBAL ID:200903076977714704
マイクロ偏光計及び楕円偏光計
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999262218
Publication number (International publication number):2000097776
Application date: Sep. 16, 1999
Publication date: Apr. 07, 2000
Summary:
【要約】【課題】平面において照射された試料の完全な光学的情報を、コンパクトな構造のマイクロ偏光計及び楕円偏光計において、得ることである。【解決手段】リターダは少なくとも1つのピクセル群を有する一体のリターダアレイ(21)であり、ピクセル群は、360度の角度範囲に亘って分布されている整列された主軸(24)を有する少なくとも3つのピクセル(23)を具備する。
Claim (excerpt):
リターダと、その後方に設けられた検光子ディスクと、光検出器マトリックスとを具備するマイクロ偏光計において、前記リターダ(20)は少なくとも1つのピクセル群(25)を有する一体のリターダアレイ(21)であり、前記ピクセル群は、360度の角度範囲に亘って分布されている整列された主軸(24)を有する少なくとも3つのピクセル(23)を具備すること、を特徴とするマイクロ偏光計。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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リタデーション測定方法および同装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-043475
Applicant:筒中プラスチック工業株式会社
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特開昭61-002027
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偏光解析装置の光学系
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-352516
Applicant:株式会社ユーレカ
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マイクロ偏光計、マイクロセンサ・システム、および薄膜の特性を測定する方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-328538
Applicant:インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
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共焦点顕微鏡装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-021575
Applicant:株式会社ニコン
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