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J-GLOBAL ID：200903077476170565

被加工物の加工方法

Inventor：
高橋 敏昭

About 高橋 敏昭


Applicant, Patent owner：
株式会社ディスコ

About 株式会社ディスコ


Agent (1)： 佐々木 功 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001099532
Publication number (International publication number)：2002299295
Application date： Mar. 30, 2001
Publication date： Oct. 11, 2002
Summary：
【要約】【課題】 フレームに貼着された粘着テープに貼着された被加工物に加工を施す場合において、粘着テープにコンタミが付着することに起因して被加工物が汚染されるのを防止し、品質を低下させないようにする。【解決手段】 リング状のフレーム30の開口部30aを塞ぐようフレーム30に貼着された粘着テープ31の粘着面31aに被加工物W1を貼着することにより、粘着テープ31を介してフレーム30と一体となった被加工物W1に所定の加工を施す被加工物の加工方法であって、粘着テープ31には、紫外線を照射することによって粘着力が低下して硬化する粘着糊がシート部材の表面に塗布されて粘着面を構成するUV硬化型粘着テープを使用し、UV硬化型粘着テープの粘着面31aに紫外線を照射することにより、粘着面31aのうち、フレーム及び被加工物が貼着されていない空き領域の粘着力を低下させて硬化させ、その後に被加工物を加工することとする。
Claim (excerpt)：
リング状のフレームの開口部を塞ぐよう該フレームに貼着された粘着テープの粘着面に被加工物を貼着することにより、該粘着テープを介して該フレームと一体となった該被加工物に所定の加工を施す被加工物の加工方法であって、粘着テープとして、紫外線を照射することによって粘着力が低下して硬化する粘着糊がシート部材の表面に塗布されて粘着面を構成するUV硬化型粘着テープを使用し、該UV硬化型粘着テープの該粘着面に紫外線を照射することにより、該粘着面のうち、該フレーム及び該被加工物が貼着されていない空き領域の粘着力を低下させて硬化させ、その後に該被加工物を加工する被加工物の加工方法。
IPC (2)：
H01L 21/304 622 ,  H01L 21/301
FI (2)：
H01L 21/304 622 J ,  H01L 21/78 M
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • チップ部材の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-074976   Applicant：ソニー株式会社
  • 特開昭60-031918
  • ダイシング方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-338644   Applicant：シャープ株式会社
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