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J-GLOBAL ID：200903078258821364

バンプ検査装置

Inventor：
村山 啓

About 村山 啓

, 
東 光敏

About 東 光敏


Applicant, Patent owner：
新光電気工業株式会社

About 新光電気工業株式会社


Agent (1)： 綿貫 隆夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999357734
Publication number (International publication number)：2001176907
Application date： Dec. 16, 1999
Publication date： Jun. 29, 2001
Summary：
【要約】【課題】 頂部が平坦面に形成されたバンプの形状を正確に検知して、高精度の製品検査を可能とする。【解決手段】 頂部が平坦面に形成された複数のバンプ12が配置された被検査体20のバンプ12の形状を検査するバンプ検査装置であって、前記被検査体20のバンプ12に向け、テレセントリック光学系30を経由して前記頂部の平坦面に対して垂直な平行光を投射する照明光学系と、該照明光学系と光軸を一致させて設置したテレセントリック光学系30による観測光学系と、該観測光学系を介して前記被検査体20の所定範囲にわたり前記頂部の平坦面の画像を観測する観測部36と、該観測部36による前記頂部の平坦面の画像に基づいて前記バンプ12の形状を解析する演算処理部38とを備える。
Claim (excerpt)：
頂部が平坦面に形成された複数のバンプが配置された被検査体のバンプの形状を検査するバンプ検査装置であって、前記被検査体のバンプに向け、テレセントリック光学系を経由して前記頂部の平坦面に対して垂直な平行光を投射する照明光学系と、該照明光学系と光軸を一致させて設置したテレセントリック光学系による観測光学系と、該観測光学系を介して前記被検査体の所定範囲にわたり前記頂部の平坦面の画像を観測する観測部と、該観測部による前記頂部の平坦面の画像に基づいて前記バンプの形状を解析する演算処理部とを備えたことを特徴とするバンプ検査装置。
IPC (2)：
H01L 21/60 ,  G01B 11/24
FI (2)：
H01L 21/92 604 T ,  G01B 11/24 A
F-Term (13)：
2F065AA24 ,  2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065CC25 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL59 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ31
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • バンプ電極検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-044566   Applicant：富士通株式会社
  • 検査方法および検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-130738   Applicant：株式会社日立製作所
  • 外観検査方法および装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-366368   Applicant：日立東部セミコンダクタ株式会社
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