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J-GLOBAL ID：200903078918409160

薄膜触覚センサ

Inventor：
丹羽 英二

About 丹羽 英二

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佐々木 祥弘

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金子 秀夫

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増本 剛

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Applicant, Patent owner：
財団法人電気磁気材料研究所

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科学技術振興事業団

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Agent (1)： 村井 卓雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000233902
Publication number (International publication number)：2002048607
Application date： Aug. 02, 2000
Publication date： Feb. 15, 2002
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】従来、歪と同時に温度を正しく検知可能とする工夫がなされている触覚センサは提案されていない。又、従来の歪及び温度を同時に検知するセンサは、感度が悪い、誤差が大きい、補償回路を必要とするの問題があった。本発明は、高感度で誤差が少なく、補償回路を必要とせずに、歪及び温度を同時に検知可能とする薄膜触覚センサを、義手・義足、ロボット、マニピュレータ、体内挿入型医療器具及び人口皮膚等に提供する。【解決手段】温度感度が大きく歪感度(又は圧力感度)が小さい温度検知用薄膜、及び歪感度(又は圧力感度)が大きく温度感度が小さい歪検知用薄膜という、大きく異なる特徴を持つ二つの薄膜抵抗体を、並列構造あるいは積層構造をなして構成することにより、補償回路を用いずに温度及び歪(又は圧力)を同時に提供することが可能な薄膜触覚センサを提供することができる。
Claim (excerpt)：
導電性基板に形成された絶縁膜又は絶縁性基板上に、原子量比にて鉄10〜70%及び残部パラジウムと少量の不純物からなる温度検知材料薄膜と、窒素0〜40%及び残部クロムと少量の不純物からなり、その結晶構造がbcc構造のみからなるかもしくはbcc構造とA15型構造の両者からなる歪検知材料薄膜とを配列成膜するか、あるいは中間に絶縁膜を介して積層成膜してなる複合素子を含んでなり、温度及び接触圧力を同時に検知することを特徴とする薄膜触覚センサ。
IPC (5)：
G01D 21/02 ,  B81B 3/00 ,  G01D 3/028 ,  G01L 1/16 ,  H01L 29/84
FI (6)：
G01D 21/02 ,  B81B 3/00 ,  G01L 1/16 A ,  G01L 1/16 B ,  H01L 29/84 Z ,  G01D 3/04 D
F-Term (10)：
2F075AA03 ,  2F076BB01 ,  2F076BD01 ,  2F076BD07 ,  2F076BD10 ,  2F076BD11 ,  2F076BE09 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112EA11
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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