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J-GLOBAL ID：200903078974947107

回折格子の形成方法,形成装置,および回折格子パターン

Inventor：
戸田 敏貴

About 戸田 敏貴


Applicant, Patent owner：
凸版印刷株式会社

About 凸版印刷株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997018652
Publication number (International publication number)：1998213702
Application date： Jan. 31, 1997
Publication date： Aug. 11, 1998
Summary：
【要約】【課題】回折効率の微妙な制御が可能であると共に、ドット内での回折効率の分布を均一にすることが可能な回折格子の形成方法・装置を提供し、回折格子からなる前記ドットの集まりから構成される回折格子パターンを提供する。【解決手段】準コヒーレント光を利用した2光束干渉によって回折格子を形成し、感光材料に入射する2光束の光路差を変えることにより、2光束の光路差に依存する干渉縞のビジビリティ(可視度,鮮明度)の変化に基づき、感光材料に形成される回折格子の特性を変化させる。
Claim (excerpt)：
コヒーレント光の2光束干渉により干渉縞を感光材料に記録して、回折格子を形成する方法において、コヒーレント光の代わりに準コヒーレント光を用い、感光材料に入射する2光束の光路差を変えることにより、2光束の光路差に依存する干渉縞のビジビリティの変化に基づき、感光材料に形成される回折格子の特性を変化させることを特徴とする回折格子の形成方法。
IPC (3)：
G02B 5/18 ,  G02B 5/32 ,  G03H 1/10
FI (3)：
G02B 5/18 ,  G02B 5/32 ,  G03H 1/10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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