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J-GLOBAL ID：200903078990338137

自己検知型SPMプローブ

Inventor：
高橋 寛

About 高橋 寛

, 
白川部 喜春

About 白川部 喜春

, 
新井 正

About 新井 正


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 坂上 正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001165306
Publication number (International publication number)：2002357530
Application date： May. 31, 2001
Publication date： Dec. 13, 2002
Summary：
【要約】【課題】 ピエゾ抵抗体を設けたカンチレバーから構成され且つ試料の表面電位を測定する際に、リーク電流の生じない自己検知型SPMプローブに代表される自己検知型SPMプローブを提供する。【解決手段】 前記探針12とその近傍に被膜した導電膜22と、前記探針12との間にも、酸化層17を積層して、導電膜22とピエゾ抵抗体20との間の絶縁度を高くした。
Claim (excerpt)：
先鋭化された探針を先端に設けたレバー部と、該レバー部を支持する支持部と、前記レバー部と前記支持部とを連結する屈曲部と、からなるカンチレバーと、このカンチレバー上に、前記屈曲部を通るU字状に前記カンチレバー上に設けたピエゾ抵抗体と、前記探針とその近傍に被膜した導電膜と、前記ピエゾ抵抗体および前記支持部上に形成した絶縁層と、前記導電膜の前記探針近傍において前記導電膜と電気的に接続し且つ前記レバー部から前記屈曲部を通って前記支持部に連なる導電層を形成した自己検知型SPMプローブにおいて、前記探針とその近傍に被膜した導電膜と、前記探針との間に、絶縁層を積層したことを特徴とする自己検知型SPMプローブ。
IPC (3)：
G01N 13/16 ,  G01B 21/30 ,  G12B 21/08
FI (3)：
G01N 13/16 C ,  G01B 21/30 ,  G12B 1/00 601 D
F-Term (5)：
2F069AA60 ,  2F069GG04 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069LL03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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