Pat

J-GLOBAL ID：200903079046873565

半導体力学量センサ

Inventor： 酒井 峰一 ,  竹内 幸裕 ,  加納 一彦 ,  樋口 祐史 ,  村田 稔 ,  杉戸 泰成 ,  深田 毅 ,  武藤 浩司 ,  藤野 誠二 ,  青 建一
Applicant, Patent owner： 株式会社デンソー
Agent (1)： 佐藤 強
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998127419
Publication number (International publication number)：1999326365
Application date： May. 11, 1998
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 検出方向と直交する方向への大きな力学量に対する各構成要素の強度を高めながら、捩り強度が低下してしまうことを防止する。【解決手段】 半導体加速度センサ11はSOI基板にマイクロマシニング技術を施すことにより形成されている。可動部2は両端が支持されており、重錘部5が矢印B方向の検出方向に作用する加速度により変位する。重錘部5には櫛歯形状の可動電極6が一体に形成されていると共に、その可動電極6に対向するように各固定電極7,8が片持ち支持されている。ここで、可動電極6及び各可動電極7,8には貫通孔31が形成されており、矩形枠状部を複数連結したラーメン構造形状に形成されている。これにより、可動電極6及び各固定電極7,8の重量は軽減されて検出方向と直交する方向の加速度に対する影響を抑制しながら、捩り強度を高めることができる。

Claim (excerpt)：

半導体基板に支持され力学量の印加に応じて変位する重錘部と当該重錘部に一体形成された可動電極とからなる可動部と、前記可動電極の検出面と対向する検出面を有し片持ち支持された固定電極とを備え、力学量の印加に応じて前記可動部が変位したときの前記可動電極の検出面と前記固定電極の検出面との間の距離変化に応じて印加力学量を検出する半導体力学量センサにおいて、前記可動電極及び固定電極は、矩形枠状部を複数連結したラーメン構造形状に形成されていることを特徴とする半導体力学量センサ。

IPC (2)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (2)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• トランスジューサ、これを利用したマイクロセンサ、車両制御システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-004251   Applicant：株式会社日立製作所
• 半導体力学量センサとその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-019192   Applicant：株式会社デンソー
• 超小形電気機械式横方向加速度計
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平7-500755   Applicant：コーネル・リサーチ・ファウンデーション・インコーポレイテッド