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J-GLOBAL ID：200903079096295260

圧電振動部品及びその製造方法

Inventor： 加藤 郁夫 ,  守越 広樹
Applicant, Patent owner： ティーディーケイ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996130447
Publication number (International publication number)：1997321361
Application date： May. 27, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】 焼成体では不可能な高周波領域(焼成体の加工時に割れやクラックが発生する高周波領域)まで使用可能で、小型化が容易な圧電振動部品を提供すること。【解決手段】 圧電材料と、該圧電材料を挟んで対向する少なくとも1対の電極からなる圧電振動部品に於いて、前記圧電材料が、c軸が膜面に垂直な方向に配向している鉛含有ペロブスカイト型強誘電体単結晶膜であることを特徴とする圧電振動部品。

Claim (excerpt)：

圧電材料と、該圧電材料を挟んで対向する少なくとも1対の電極からなる圧電振動部品に於いて、前記圧電材料が、c軸が膜面に垂直な方向に配向している鉛含有ペロブスカイト型強誘電体単結晶膜であることを特徴とする圧電振動部品。

IPC (7)：

H01L 41/09 ,  C30B 19/00 ,  C30B 29/32 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/17

FI (7)：

H01L 41/08 C ,  C30B 19/00 Z ,  C30B 29/32 A ,  H03H 3/02 B ,  H03H 9/17 G ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭62-252006
  
• マイクロアクチュエータおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-222179   Applicant：川崎重工業株式会社
• 強誘電体薄膜構成体およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-308158   Applicant：松下電器産業株式会社
• 単結晶基板品の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-222087   Applicant：日本碍子株式会社
• 特開平4-104233