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J-GLOBAL ID：200903079299308597

センサ装置、センサ装置の製造方法

Inventor：
野村 昭彦

About 野村 昭彦


Applicant, Patent owner：
沖電気工業株式会社

About 沖電気工業株式会社

, 
宮崎沖電気株式会社

About 宮崎沖電気株式会社


Agent (4)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007059275
Publication number (International publication number)：2008224254
Application date： Mar. 08, 2007
Publication date： Sep. 25, 2008
Summary：
【課題】良好な耐衝撃性を有し、小型化が可能なセンサ装置、及びその製造方法を提供する。【解決手段】錘部12と、錘部12を囲うように配置された枠部10と、枠部10上に第1絶縁層14を介して設けられた支持部24と、錘部12上に第2絶縁層18を介して設けられた質量部26と、支持部24と質量部26とを接続している梁部16と、支持部24の枠部10上面と対向する面36、枠部10の支持部24底面と対向する面38、及び第1絶縁層14の錘部12側の側面20、により区画された第1凹部30と、質量部26の錘部12上面と対向する面40、錘部12の質量部26底面と対向する面42、及び第2絶縁層18の枠部10側の側面22、により区画された第2凹部32と、を有し、第1凹部30の深さ34、及び第2凹部32の深さ35が、枠部10の幅の3.3%以上5.0%以下である。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
錘部と、前記錘部を囲うように配置された枠部と、 前記枠部上に第1絶縁層を介して設けられた支持部と、 前記錘部上に第2絶縁層を介して設けられた質量部と、 前記支持部と前記質量部とを接続している梁部と、 前記支持部の前記枠部上面と対向する面、前記枠部の前記支持部底面と対向する面、及び前記第1絶縁層の前記錘部側の側面、により区画された第1凹部と、 前記質量部の前記錘部上面と対向する面、前記錘部の前記質量部底面と対向する面、及び前記第2絶縁層の前記枠部側の側面、により区画された第2凹部と、を有し、 前記第1凹部の深さ、又は前記第2凹部の深さが、前記枠部の幅の3.3%以上である、 ことを特徴とするセンサ装置。
IPC (3)：
G01P 15/12 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00
FI (3)：
G01P15/12 D ,  H01L29/84 A ,  B81B3/00
F-Term (26)：
3C081AA07 ,  3C081AA11 ,  3C081BA04 ,  3C081BA43 ,  3C081BA48 ,  3C081CA02 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA29 ,  3C081DA04 ,  3C081EA02 ,  3C081EA12 ,  3C081EA35 ,  4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA27 ,  4M112CA36 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA18 ,  4M112FA07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (4)
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