Pat
J-GLOBAL ID：200903078551476582

センサ素子

Inventor：
埴原 甲二

About 埴原 甲二


Applicant, Patent owner：
パイオニア株式会社

About パイオニア株式会社

, 
パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社

About パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社


Agent (1)： 藤村 元彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004345616
Publication number (International publication number)：2006153689
Application date： Nov. 30, 2004
Publication date： Jun. 15, 2006
Summary：
【目的】 構造が簡便で軽量化、小型化に適すると共に、製造も容易で高性能化に適したセンサを提供する。【解決手段】 所定間隔をおいて配置された導電性の上方基板及び導電性の下方基板と、上方基板および下方基板に挟まれた空間内で導電性の重錘体を変位可能に支持する導電性の中間基板と、重錘体の変位に応じた電気信号を導電性の中間基板を介して取り出す検出素子と、を有する。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
所定間隔をおいて配置された導電性の上方基板及び導電性の下方基板と、 前記上方基板および前記下方基板に挟まれた空間内で導電性の重錘体を変位可能に支持する導電性の中間基板と、 前記重錘体の変位に応じた電気信号を前記導電性の中間基板を介して取り出す検出素子と、を有することを特徴とするセンサ。
IPC (1)：
G01P 15/125
FI (1)：
G01P15/125 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • 加速度・角速度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-309447   Applicant：株式会社ワコー
  • 半導体装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-430049   Applicant：株式会社デンソー
  • 角速度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-289653   Applicant：岡田和廣
Cited by examiner (6)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM