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J-GLOBAL ID：200903000496996246

加速度センサおよびその製造方法

Inventor：
安川 浩永

About 安川 浩永


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006135994
Publication number (International publication number)：2007309654
Application date： May. 16, 2006
Publication date： Nov. 29, 2007
Summary：
【課題】加速度センサの小型化、薄型化を維持して、加速度の検出感度を高めることを可能とする。【解決手段】支持部21に一端が支持された複数の弾性支持部22と、前記各弾性支持部22の他端側に支持された質量部23と、前記質量部23の変位検出手段25とを備えた加速度センサ1であって、前記各弾性支持部22に支持される側の前記質量部23に凹部24が形成され、前記弾性支持部22は前記凹部24内で前記質量部23から離間させた状態で延長形成されて前記質量部23を支持しているものである。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
支持部に一端が支持された複数の弾性支持部と、 前記各弾性支持部の他端側に支持された質量部と、 前記質量部の変位検出手段と を備えた加速度センサであって、 前記各弾性支持部に支持される側の前記質量部に凹部が形成され、 前記弾性支持部は前記凹部内で前記質量部から離間させた状態で延長形成されて前記質量部を支持している ことを特徴とする加速度センサ。
IPC (7)：
G01P 15/12 ,  G01P 15/09 ,  G01P 15/18 ,  H01L 29/84 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18
FI (7)：
G01P15/12 D ,  G01P15/09 D ,  G01P15/00 K ,  H01L29/84 A ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101Z
F-Term (15)：
4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA27 ,  4M112CA36 ,  4M112DA02 ,  4M112DA04 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112EA18 ,  4M112FA01 ,  4M112FA20
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (7)
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