振動検出器

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：高矢諭 , 松山圭佑 , 牧野剛博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006004370
Publication number (International publication number)：2007187494
Application date： Jan. 12, 2006
Publication date： Jul. 26, 2007
Summary：

【課題】コストアップすることなく、ノイズを低減し、周波数特性を向上する。【解決手段】弾性部22によって変位自在に支持された振動子21と、該振動子21と対面する位置に固定された固定電極12、32とを備え、前記振動子21と固定電極12、32とで形成されるキャパシタの静電容量に基づいて被測定体の変位、速度、加速度の何れかを検出する振動検出器において、前記固定電極12、32の中央部12c、32cにおける前記振動子21とのギャップd0を、周辺部より大とする。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

弾性部によって変位自在に支持された振動子と、該振動子と対面する位置に固定された固定電極とを備え、前記振動子と固定電極とで形成されるキャパシタの静電容量に基づいて被測定体の変位、速度、加速度の何れかを検出する振動検出器において、前記固定電極の中央部における前記振動子とのギャップを、周辺部より大としたことを特徴とする振動検出器。

IPC (4)：

G01H 11/06 , G01P 15/125 , H01L 29/84 , G01P 3/42

FI (4)：

G01H11/06 , G01P15/125 Z , H01L29/84 Z , G01P3/42 Z

F-Term (18)：

2G064AA14 , 2G064AB01 , 2G064AB02 , 2G064AB19 , 2G064BA02 , 2G064BA07 , 2G064BA08 , 2G064BD05 , 2G064BD25 , 2G064BD47 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA21 , 4M112CA24 , 4M112CA31 , 4M112EA02 , 4M112EA13 , 4M112FA20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

物理量検出器及び物理量検出器の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-167040 Applicant：新妻弘明, 株式会社アカシ

Cited by examiner (6)

物理量検出器及び物理量検出器の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-167040 Applicant：新妻弘明, 株式会社アカシ
振動センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-145442 Applicant：ホシデン株式会社
静電容量式加速度センサ及びエアバツグシステム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-184595 Applicant：株式会社日立製作所

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