有機無機ハイブリッド薄膜及びその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005142706
Publication number (International publication number)：2006315933
Application date： May. 16, 2005
Publication date： Nov. 24, 2006
Summary：

【課題】シリコン基板上に製膜した、酸化モリブデン(MoO3)を主成分とする導電性の有機無機ハイブリッド薄膜、該薄膜を製造する方法、及びその導電性有機無機ハイブリッド薄膜を利用したセンサ部材等を提供する。【解決手段】金属酸化物単結晶に比べて安価なシリコン基板上に、適切な金属酸化物のバッファー層を介在させて、有機無機ハイブリッド薄膜を形成したことを特徴とする、電気伝導性有機無機ハイブリッド薄膜、その製造方法、該方法により作製された電気伝導性有機無機ハイブリッド薄膜をセンサ素子として用いた、VOCガス等に対して高感度に応答する化学センサ部材。【選択図】図11

Claim (excerpt)：

シリコン単結晶基板と該基板上に金属酸化物からなるバッファー層を介在させて製膜した有機無機ハイブリッド薄膜から成ることを特徴とする有機無機ハイブリッド薄膜。

IPC (5)：

C30B 29/16 , C30B 29/32 , C30B 29/68 , C30B 31/04 , G01N 27/12

FI (5)：

C30B29/16 , C30B29/32 M , C30B29/68 , C30B31/04 , G01N27/12 C

F-Term (24)：

2G046AA18 , 2G046AA25 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046EA02 , 2G046EA04 , 2G046EA08 , 2G046FA01 , 2G046FA04 , 2G046FB02 , 2G046FC01 , 2G046FE18 , 2G046FE22 , 2G046FE38 , 4G077AA03 , 4G077BB10 , 4G077DB01 , 4G077ED06 , 4G077EF02 , 4G077FA02 , 4G077FA08 , 4G077HA20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

ガスセンサ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-066108 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
有機無機ハイブリッド薄膜及びその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-422141 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
有機無機ハイブリッド薄膜センサの高感度化
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-140528 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所

Cited by examiner (3)

特開昭61-183459
パリレンコーティングの製造方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平10-520626 Applicant：スペシャルティコーティングシステムズインコーポレイテッド
ガスセンサ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-066108 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所

Return to Previous Page