Pat
J-GLOBAL ID：200903080304664095

基板処理装置

Inventor：
原 孝志

About 原 孝志


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (2)： 稲岡 耕作 ,  川崎 実夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004035256
Publication number (International publication number)：2004207750
Application date： Feb. 12, 2004
Publication date： Jul. 22, 2004
Summary：
【課題】基板処理のスループットを向上する。 【解決手段】処理モジュール520は、第1〜第3の主搬送ロボットMTR1〜3と、これらによってそれぞれ基板が搬入/搬出されるスピンスクラバSS1,SS2、スピンデベロッパSD1,SD2およびスピンコータSC1,SC2と、第1および第2の主搬送ロボットMTR1,MTR2間に設けられた積層処理ユニット群531と、第2および第3の主搬送ロボットMTR2,MTR3間に設けられた積層処理ユニット群532とを備えている。積層処理ユニット群531,532に備えられたクールプレートCPは、基板の冷却と、主搬送ロボットMTR1〜3の間の基板の受け渡しとに兼用される。【選択図】 図25
Claim (excerpt)：
基板の表面をスクラブ洗浄するスピンスクラバと、 このスピンスクラバに対して基板の搬入/搬出を行う第1の主搬送ロボットと、 基板の表面に現像液を供給して現像処理を行うスピンデベロッパと、 このスピンデベロッパに対して基板の搬入/搬出を行う第2の主搬送ロボットと、 基板の表面にレジスト液を供給してレジスト膜を形成するスピンコータと、 このスピンコータに対して基板の搬入/搬出を行う第3の主搬送ロボットと、 上記第1および第2の主搬送ロボットの間の位置に配置され、基板に対して加熱処理を行うベーク部、および基板に対して冷却処理を行うクールプレートを含んで構成される第1の積層処理ユニット群と、 上記第2および第3の主搬送ロボットの間の位置に配置され、基板に対して加熱処理を行うベーク部、および基板に対して冷却処理を行うクールプレートを含んで構成される第2の積層処理ユニット群とを備え、 上記第1の積層処理ユニット群に含まれるクールプレートは、上記第1および第2の主搬送ロボット間の基板受け渡し場所として用いられ、 上記第2の積層処理ユニット群に含まれるクールプレートは、上記第2および第3の主搬送ロボット間の基板受け渡し場所として用いられることを特徴とする基板処理装置。
IPC (3)：
H01L21/68 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027
FI (3)：
H01L21/68 A ,  H01L21/02 Z ,  H01L21/30 562
F-Term (35)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA06 ,  5F031GA08 ,  5F031GA40 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031HA73 ,  5F031KA02 ,  5F031LA13 ,  5F031LA15 ,  5F031MA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031PA30 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046JA04 ,  5F046KA04 ,  5F046LA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 特許第2519096号公報
Cited by examiner (4)
  • 基板搬送装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-249617   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
  • 基板処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-215186   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
  • 基板処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-178701   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM