カーボンナノチューブを有する電子源とそれを用いた電子顕微鏡および電子線描画装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002234297
Publication number (International publication number)：2004079223
Application date： Aug. 12, 2002
Publication date： Mar. 11, 2004
Summary：

【課題】カーボンナノチューブと導電性基材とのオーミックコンタクトが確保でき、十分な接合強度を有するとともに、ビーム軸調整が容易な高信頼性電子源とそれを用いることにより、従来機種と比べ、高分解能化,高輝度化,低加速電圧化による試料ダメージの低減化,低コスト化,小型化を実現する電子顕微鏡および高精細化,高効率化,低コスト化,小型化を実現する電子線描画装置を提供する。【解決手段】導電性基材の先端中央部に、導電性接合材料を介するか、あるいは有機材料を介してカーボンナノチューブを取付けた後、熱処理により該有機材料を炭化処理するか、または拡散接合によりカーボンナノチューブをオーミックコンタクト接合した電子源を電子顕微鏡,電子線描画装置に適用する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

微細孔を有する導電性針と、該導電性針の微細孔に設けられる導電性接合材料と、前記導電性接合材料に接合されるカーボンナノチューブと、を有することを特徴とする電子源。

IPC (6)：

H01J1/304 , B82B3/00 , G03F7/20 , H01J9/02 , H01J37/073 , H01L21/027

FI (6)：

H01J1/30 F , B82B3/00 , G03F7/20 504 , H01J9/02 B , H01J37/073 , H01L21/30 541B

F-Term (26)：

2H097AA03 , 2H097BA10 , 2H097CA01 , 2H097CA16 , 2H097LA10 , 5C030CC02 , 5C127AA04 , 5C127AA05 , 5C127BA10 , 5C127BA15 , 5C127BB07 , 5C127CC03 , 5C127DD99 , 5C127EE02 , 5C127EE06 , 5C127EE12 , 5C127EE16 , 5C127EE17 , 5C135AA10 , 5C135AA15 , 5C135AB07 , 5C135AC02 , 5C135HH16 , 5C135HH17 , 5F056EA02 , 5F056FA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

電子放出素子及び電子放出源とそれらの製造方法並びにそれらを使用した画像表示装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-173309 Applicant：松下電器産業株式会社
電界放出型電子源アレイ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-128131 Applicant：シャープ株式会社
特開昭52-123162

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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