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J-GLOBAL ID:200903080805990146
レーザ光発生装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
小池 晃 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999093563
Publication number (International publication number):2000286487
Application date: Mar. 31, 1999
Publication date: Oct. 13, 2000
Summary:
【要約】【課題】 安定に且つ確実に制御ループの引き込み動作を行い、所定の光共振器長を高い精度で維持することができるようにする。【解決手段】 レーザ光源1から出射されたレーザ光を電気光学位相変調器2により位相変調して光共振器3に入射し、ロッキング回路6により、上記光共振器3により反射されたレーザ光の検出信号を上記電気光学位相変調器の位相変調信号で同期検波することにより得られる誤差信号に基づいて、上記光共振器の共振器長を可変させる位置決め素子8を帰還制御して、上記光共振器3の共振器長を周波数同期ロックし、入射されたレーザ光を波長変換素子4により波長変換して、高次のレーザ光を上記光共振器3から取り出す。制御装置7は、上記ロッキング回路6により上記位置決め素子8を帰還制御する制御ループのループゲインを上記制御ループの引き込み時に漸増させる。
Claim (excerpt):
レーザ光を出射するレーザ光源と、内部に波長変換素子が配置され、上記レーザ光源から入射されたレーザ光を上記波長変換素子により波長変換して高次のレーザ光を取り出す光共振器と、上記レーザ光源から上記光共振器に入射されるレーザ光の入射光路中に配置され、上記光共振器に入射されるレーザ光を位相変調する電気光学位相変調器と、上記光共振器により反射されたレーザ光の検出信号を上記電気光学位相変調器の位相変調信号で同期検波することにより得られる誤差信号に基づいて、上記光共振器の共振器長を可変させる共振器長可変駆動素子を帰還制御して、上記光共振器の共振器長を周波数同期ロックするロッキング回路と、上記ロッキング回路により上記共振器長可変駆動素子を帰還制御する制御ループのループゲインを上記制御ループの引き込み時に漸増させる制御装置とを備えるレーザ光発生装置。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (10):
5F072AB02
, 5F072HH02
, 5F072HH05
, 5F072JJ20
, 5F072KK05
, 5F072KK12
, 5F072LL02
, 5F072MM03
, 5F072QQ02
, 5F072RR05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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連続発振紫外線レーザー光発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-252480
Applicant:ソニー株式会社
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レーザ光発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-044218
Applicant:ソニー株式会社
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レーザ共振器及びこれを用いたレーザ光発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-352635
Applicant:ソニー株式会社
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レーザ光発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-078753
Applicant:ソニー株式会社
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レーザ光発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-201328
Applicant:ソニー株式会社
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