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J-GLOBAL ID:200903081613630380
パターン検査装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
古谷 史旺 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997234466
Publication number (International publication number):1999073905
Application date: Aug. 29, 1997
Publication date: Mar. 16, 1999
Summary:
【要約】【課題】 本発明は、半導体ウェーハの回路パターン像等を取得する検査装置に関し、特に試料全体から一部分までを高速かつ高感度に検査することができる。【解決手段】 ステージ1と、試料に電子ビームを照射する照射手段2と、電子ビームの照射によって試料から発生する二次電子等から試料の画像情報を生成する電子検出手段3と、ステージ1を駆動するステージ駆動手段4と、二次ビームを偏向する偏向手段5とを備え、電子検出手段3は、蛍光部6と、TDIアレイCCDセンサ7と、TDIアレイCCDセンサ7に蓄積される電荷をシフトさせる制御部8とを備えて構成され、試料の移動に応じて、TDIアレイCCDセンサ7に蓄積される電荷をシフトさせるステージ走査モードと、偏向手段5による電子検出手段3に投影される二次ビームの投影位置に応じて、TDIアレイCCDセンサ7に蓄積される電荷をシフトさせる偏向器走査モードとを有する。
Claim (excerpt):
試料が載置され、駆動可能なステージと、前記ステージに載置される試料に電子ビームを照射する照射手段と、前記電子ビームの照射によって、前記試料から発生する二次電子、反射電子または後方散乱電子の少なくとも1種が、二次ビームとして投影され、前記試料の画像情報を生成する電子検出手段と、前記ステージを駆動するステージ駆動手段と、前記二次ビームを偏向する偏向手段とを備え、前記電子検出手段は、前記二次ビームを光に変換する蛍光部と、該光を光電変換し、変換された電荷を蓄積するTDIアレイCCDセンサと、該TDIアレイCCDセンサに蓄積される電荷をシフトさせる制御部とを備えて構成され、前記ステージ駆動手段による前記試料の移動により、前記電子検出手段に投影される二次ビームの投影位置が変動し、その変動に応じて、前記制御部は、前記TDIアレイCCDセンサに蓄積される電荷をシフトさせるステージ走査モードと、前記偏向手段によって前記電子検出手段に投影される二次ビームの投影位置が変動し、その変動に応じて、前記制御部は、前記TDIアレイCCDセンサに蓄積される電荷をシフトさせる偏向器走査モードとを有することを特徴とするパターン検査装置。
IPC (6):
H01J 37/22 502
, G01N 23/20
, G01N 23/225
, H01J 37/20
, H01J 37/244
, H01L 21/66
FI (6):
H01J 37/22 502 B
, G01N 23/20
, G01N 23/225
, H01J 37/20 D
, H01J 37/244
, H01L 21/66 J
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (7)
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パターン検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-001178
Applicant:株式会社ニコン
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パターン検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-001181
Applicant:株式会社ニコン
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電子ビームによる画像表示装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-001180
Applicant:株式会社ニコン
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電動スキャニングテーブル付き共焦点顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-316878
Applicant:カール・ツアイス・スティフツング
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電子ビーム検査方法とそのシステム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-124951
Applicant:日本ケー・エル・エー株式会社
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ウェーハパターンの欠陥検出方法及び同装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-041346
Applicant:株式会社東芝
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特開平4-348260
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