Pat
J-GLOBAL ID：200903081736279601
ステージ駆動方法、ステージ装置、及び露光装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998267565
Publication number (International publication number)：1999168064
Application date： Sep. 22, 1998
Publication date： Jun. 22, 1999
Summary：
【要約】【課題】 可動部の駆動に伴う振動を抑制する際にモーメントや変形力等を発生しにくいステージ装置を提供する。【解決手段】 ベース1上に防振台2A等を介して定盤3を支持し、定盤3上にXガイドバー4に沿って移動自在に、Yガイドバー搬送体5及びYガイドバー6等からなるXステージを配置し、このXステージをX軸リニアモータ10A,10Bを介してX方向に駆動する。X軸リニアモータ10A,10Bの固定子12A,12Bを定盤3上に直動ガイド13A,13Bを介してX方向に移動できるように支持し、ベース1に固定された制動フレーム35に取り付けられたX制動部材36A,36Bによって、固定子12A,12Bに対してそのXステージを駆動する際の反力を打ち消すような制動力を与える。
Claim (excerpt)：
定盤上に所定方向に移動自在に設置された可動テーブルを、前記定盤に対して前記所定方向に非接触型駆動手段を用いて駆動するステージ駆動方法であって、前記非接触型駆動手段の固定子が前記定盤に対して移動自在に支持された状態で、前記可動テーブルに前記所定方向に推力を与えるときに前記固定子に対して制動力を与えることを特徴とするステージ駆動方法。
IPC (7)：
H01L 21/027
, B23Q 1/30
, B23Q 5/28
, B23Q 11/00
, G01B 21/00
, G05D 3/10
, H01L 21/68
H01L 21/30 503 A
, B23Q 1/30
, B23Q 5/28 B
, B23Q 11/00 A
, G01B 21/00 L
, G05D 3/10 C
, H01L 21/68 K
, B23Q 1/18 Z
