静電容量式湿度センサ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：矢作和行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004325518
Publication number (International publication number)：2006133191
Application date： Nov. 09, 2004
Publication date： May. 25, 2006
Summary：

【課題】雰囲気中の湿度変化を静電容量の変化によって検出する静電容量式湿度センサであって、高温多湿な環境下においても長期に渡って安定して使用することができ、小型で安価な静電容量式湿度センサを提供する。【解決手段】湿度に応じて誘電率の変化する感湿膜4が形成された、容量値の湿度変化に対する傾きが互いに異なる第1センサ素子11と第2センサ素子12を有してなり、第1センサ素子11と第2センサ素子12が、直列接続されてなる静電容量式湿度センサ100とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

雰囲気中の湿度変化を静電容量の変化によって検出する静電容量式湿度センサであって、湿度に応じて誘電率の変化する感湿膜が形成された、容量値の湿度変化に対する傾きが互いに異なる第1センサ素子と第2センサ素子を有してなり、前記第1センサ素子と第2センサ素子が、直列接続されてなることを特徴とする静電容量式湿度センサ。

IPC (1)：

G01N 27/22

FI (1)：

G01N27/22 A

F-Term (9)：

2G060AA01 , 2G060AB02 , 2G060AF10 , 2G060AG06 , 2G060AG08 , 2G060AG10 , 2G060AG11 , 2G060AG15 , 2G060BB10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

容量式湿度センサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-043973 Applicant：株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所

Cited by examiner (5)

容量式湿度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-075017 Applicant：株式会社デンソー
特開昭63-243857
特開平1-292244

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