光源装置とこれを用いた光学測定装置および露光装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997105876
Publication number (International publication number)：1998301153
Application date： Apr. 23, 1997
Publication date： Nov. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】外部共振器を用いて第二高調波や和周波を発生させるレーザ光源において、外部振動等により共振器長や光軸が変動するのを防止し、また、その光を光ファイバーで伝搬する際に生じるスペックルパターンを除去する。【解決手段】外部共振器200を含む波長変換部100と、その出力光を空間的に変調してスペックルノイズを除去する変調部300と、光導波路400とを機械的に分離し、防振部材500で振動を防ぐ。

Claim (excerpt)：

少なくとも1対の反射手段と非線形光学結晶素子を備え、一個の基本波光源から出射した基本波レーザ光から生成された第二高調波光、および複数個の基本波光源から出射した基本波レーザ光から生成された和周波光のいずれかを出射する波長変換部と、前記波長変換部からのレーザ光を空間的に変調する変調部と、前記変調部から所望の光学装置に前記レーザ光を導く光導波路と、を有し、前記波長変換部と、前記変調部、および前記光導波路をそれぞれ機械的に分離すると共に、前記波長変換部と、前記波長変換部および前記変調部と、前記波長変換部、前記変調部および前記光導波路と、のいずれかに防振手段を具備することを特徴とする光源装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

半導体露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-329324 Applicant：ソニー株式会社
露光照明装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-235115 Applicant：ソニー株式会社
特開平3-047688

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