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J-GLOBAL ID：200903082287691760

誘導結合プラズマ質量分析方法

Inventor：
荻原 忠幸

About 荻原 忠幸

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帆前 雅博

About 帆前 雅博

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高瀬 可浩

About 高瀬 可浩


Applicant, Patent owner：
株式会社村田製作所

About 株式会社村田製作所


Agent (1)： 西澤 均
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000141707
Publication number (International publication number)：2001324476
Application date： May. 15, 2000
Publication date： Nov. 22, 2001
Summary：
【要約】【課題】 共存物質や共存物質とガス成分の結合した分子イオンなどのピークが目的元素の質量スペクトルのピークに重なるような場合にも、精度よく目的元素の定量を行うことが可能な誘導結合プラズマ質量分析方法を提供する。【解決手段】 試料中の微量物質を定量する際に、共存物質や共存物質とガス成分の結合した分子イオンなどのピークが目的元素の質量スペクトルのピークに重なる場合に、任意に選んだ重なりのある2本のピークの強度から、式(1)によって、補正強度を求めることにより、目的元素の定量を行う。I’=iI-(iDB/jDB)jI ......(1)I’:補正強度iI :質量数iの測定強度iDB:妨害イオンの質量数iの同位体比
Claim (excerpt)：
(a)試料中の共存物質、ガス成分(大気、プラズマガス)、及びこれらの結合した分子イオンの質量スペクトルのピークの少なくとも一つが、測定元素の質量スペクトルのピークに重なるスペクトル干渉を起こす場合であって、かつ、目的元素の質量スペクトルのピークに、妨害イオンの質量スペクトルのピークと重ならないピークがない場合、又は、(b)試料中の共存物質、ガス成分(大気、プラズマガス)、及びこれらの結合した分子イオンの質量スペクトルのピークの少なくとも一つが、測定元素の質量スペクトルのピークに重なるスペクトル干渉を起こす場合であって、かつ、目的元素の質量スペクトルのピークのうちの、妨害イオンの質量スペクトルのピークと重ならないピークの強度が、妨害イオンの質量スペクトルのピークと重なりのあるピークの強度の10分の1未満である場合、のいずれかの場合において、任意に選んだ重なりのある2本のピークの強度から、式(1)によって、補正強度を求めることにより、目的元素の定量を行うことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析方法。I’=iI-(iDB/jDB)jI ......(1)I’:補正強度iI :質量数iの測定強度iDB:妨害イオンの質量数iの同位体比
IPC (2)：
G01N 27/62 ,  H01J 49/26
FI (2)：
G01N 27/62 D ,  H01J 49/26
F-Term (1)：
5C038HH28
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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