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J-GLOBAL ID：200903082552847352

回転式真空ポンプ、真空装置およびポンプ接続構造

Inventor： 中村 富佐雄 ,  芦田 修 ,  大上 耕平
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005114519
Publication number (International publication number)：2006063969
Application date： Apr. 12, 2005
Publication date： Mar. 09, 2006
Summary：

【課題】 排気対象装置に伝達される衝撃を低減することができる回転式真空ポンプの提供。【解決手段】 ボルト孔14に挿入されるブッシュ部17aが形成された特殊座金17を用いることにより、ボルト15の軸とボルト孔14との間に隙間Gが形成される。その結果、吸気口フランジ13aに衝撃トルクが働いた場合にはボルト15の領域H2の部分が変形し、その時の歪みエネルギーにより衝撃が吸収され、装置側フランジ16への衝撃の伝達を抑制することができる。【選択図】 図4

Claim (excerpt)：

吸気口フランジが形成されたポンプケーシングと、回転側排気手段が設けられて前記ポンプケーシング内で高速回転駆動されるロータと、前記ポンプケーシング内に設けられて前記回転側排気手段と共働して排気作用を発生する固定側排気手段とを備え、排気対象装置に対して前記吸気口フランジをボルトにより締結する回転式真空ポンプにおいて、 前記吸気口フランジに形成されて前記ボルトの径よりも大きな径を有するボルト用貫通孔と、 前記貫通孔の前記吸気口フランジ合わせ面側において、前記ボルトと前記貫通孔とに間に隙間を形成する隙間形成手段とを備えたことを特徴とする回転式真空ポンプ。

IPC (1)：

F04D 19/04

FI (1)：

F04D19/04 H

F-Term (8)：

3H031DA02 ,  3H031EA09 ,  3H031FA37 ,  3H031FA39 ,  3H131AA02 ,  3H131BA09 ,  3H131CA37 ,  3H131CA39

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 真空ポンプ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-352252   Applicant：ビーオーシーエドワーズテクノロジーズ株式会社

Cited by examiner (3)

• ターボ分子ポンプ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-250517   Applicant：三菱重工業株式会社
• 締結具
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-290248   Applicant：内藤正昭
• ガードレール取付用反射ボルト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-023108   Applicant：日東精工株式会社