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J-GLOBAL ID:200903082589896205
光源装置及びそれを用いた露光装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (3):
宇都宮 正明
, 渡部 温
, 柳瀬 睦肇
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004002142
Publication number (International publication number):2005197456
Application date: Jan. 07, 2004
Publication date: Jul. 21, 2005
Summary:
【課題】 EUV光の捕集立体角及び捕集率を確保しつつ、ミラーコーティングに有害であるとされるデブリから集光ミラーを保護することにより、集光ミラーを長寿命化し、ランニングコストを低減することができる光源装置を提供する。 【解決手段】 ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生する光源装置であって、ターゲットとなる物質を供給するターゲット供給部3、4と、ターゲットにレーザビームを照射することによりプラズマを発生させるレーザ部1、2と、プラズマから放出される極端紫外光を集光して出射する集光光学系5と、プラズマから放出される荷電粒子をトラップするために、電流が供給されたときに集光光学系内に磁場を発生させる磁場発生手段6、7とを具備する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生する光源装置であって、
前記ターゲットとなる物質を供給するターゲット供給部と、
前記ターゲットにレーザビームを照射することによりプラズマを発生させるレーザ部と、
前記プラズマから放出される極端紫外光を集光して出射する集光光学系と、
前記プラズマから放出される荷電粒子をトラップするために、電流が供給されたときに前記集光光学系内に磁場を発生させる磁場発生手段と、
を具備する光源装置。
IPC (7):
H01L21/027
, G03F7/20
, G21K5/00
, G21K5/02
, G21K5/08
, H05G2/00
, H05H1/24
FI (9):
H01L21/30 531S
, G03F7/20 503
, G21K5/00 Z
, G21K5/02 X
, G21K5/08 X
, H05H1/24
, H01L21/30 531A
, H01L21/30 517
, H05G1/00 K
F-Term (9):
2H097AA02
, 2H097CA15
, 2H097LA10
, 4C092AA06
, 4C092AB19
, 4C092AC09
, 4C092BD20
, 5F046GA03
, 5F046GC03
Patent cited by the Patent:
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