超純水製造装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：赤塚賢次 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002073696
Publication number (International publication number)：2003266069
Application date： Mar. 18, 2002
Publication date： Sep. 24, 2003
Summary：

【要約】【課題】ユースポイントに移送される超純水中に僅かに混入する微粒子とイオン成分の両方を除去し、高集積デバイスの製造等に適する超純水を安定して供給し、モジュールの交換頻度を著しく低減する超純水製造装置を提供する。【解決手段】超純水を配管移送してユースポイントに供給する超純水製造装置において、該超純水を移送する配管の途中に、互いにつながっているマクロポアとマクロポアの壁内に平均径が1〜1,000μmのメソポアを有する連続気泡構造を有し、イオン交換基が均一に分布され、イオン交換容量が0.5mg当量/g乾燥多孔質体以上である3次元網目構造を有する有機多孔質イオン交換体を充填したモジュールを設置し、該モジュールで超純水を更に処理する。

Claim (excerpt)：

超純水を配管移送してユースポイントに供給する超純水製造装置において、該超純水を移送する配管の途中に、互いにつながっているマクロポアとマクロポアの壁内に平均径が1〜1,000μmのメソポアを有する連続気泡構造を有し、全細孔容積が1ml/g〜50ml/gであり、イオン交換基が均一に分布され、イオン交換容量が0.5mg当量/g乾燥多孔質体以上である3次元網目構造を有する有機多孔質イオン交換体を充填したモジュールを設置し、該モジュールで超純水を更に処理することを特徴とする超純水製造装置。

IPC (9)：

C02F 1/42 , B01D 61/18 , C02F 1/32 , C02F 1/44 , C02F 1/72 101 , C02F 9/00 502 , C02F 9/00 , C02F 9/00 503 , C02F 9/00 504

FI (12)：

C02F 1/42 A , B01D 61/18 , C02F 1/32 , C02F 1/44 J , C02F 1/72 101 , C02F 9/00 502 G , C02F 9/00 502 J , C02F 9/00 502 N , C02F 9/00 502 R , C02F 9/00 503 B , C02F 9/00 504 B , C02F 9/00 504 E

F-Term (26)：

4D006GA06 , 4D006KA01 , 4D006KA72 , 4D006KB04 , 4D006KB11 , 4D006PA01 , 4D006PB02 , 4D006PC02 , 4D025AA04 , 4D025AB01 , 4D025BA07 , 4D025BB02 , 4D025DA04 , 4D025DA05 , 4D037AA03 , 4D037AB01 , 4D037BA18 , 4D037CA03 , 4D037CA12 , 4D037CA15 , 4D050AA05 , 4D050AB07 , 4D050BB01 , 4D050BC09 , 4D050CA08 , 4D050CA09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

多孔質体の製造方法および多孔質体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-062904 Applicant：大日本インキ化学工業株式会社, 財団法人川村理化学研究所
特開平4-078483
連続的マクロポーラス有機マトリックスを使用するクロマトグラフ法および装置
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平9-519653 Applicant：アマーシヤム・フアーマシア・バイオテツク・アー・ベー

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