Pat
J-GLOBAL ID:200903082725654580

フィルタ及び清浄装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 萩原 康司 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002094325
Publication number (International publication number):2002336632
Application date: Aug. 05, 1997
Publication date: Nov. 26, 2002
Summary:
【要約】【課題】 防災に優れ,かつ湿度の低下が無く,さらにフィルタ自身からのガス状有機不純物の脱離がなく,しかも処理対象空気中に含まれる微量のガス状有機不純物を除去して同有機物による基板などの表面汚染を防止できるフィルタを提供する。【解決手段】 雰囲気中のガス状有機不純物を除去するためのゼオライトを,ガス状有機不純物を吸着する性質を有し,かつ該ゼオライトの有効細孔径よりも大きな有効細孔径を有する無機物をバインダとして用いて造粒したペレット21を,ケーシング22内に充填して構成したことを特徴とするフィルタ1である。
Claim (excerpt):
雰囲気中のガス状有機不純物を除去するためのゼオライトを,ガス状有機不純物を吸着する性質を有し,かつ該ゼオライトの有効細孔径よりも大きな有効細孔径を有する無機物をバインダとして用いて造粒したペレットを,ケーシング内に充填して構成したことを特徴とするフィルタ。
IPC (2):
B01D 53/02 ,  B01J 20/18
FI (2):
B01D 53/02 Z ,  B01J 20/18 E
F-Term (26):
4D012CA10 ,  4D012CB02 ,  4D012CB14 ,  4D012CG01 ,  4D012CG03 ,  4D012CG05 ,  4D012CG06 ,  4D012CH01 ,  4G066AA20D ,  4G066AA22D ,  4G066AA30D ,  4G066AA61B ,  4G066AA64B ,  4G066AA64D ,  4G066BA07 ,  4G066BA09 ,  4G066BA23 ,  4G066BA24 ,  4G066BA25 ,  4G066BA26 ,  4G066BA42 ,  4G066CA56 ,  4G066DA03 ,  4G066DA20 ,  4G066FA26 ,  4G066FA28
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (13)
Show all

Return to Previous Page