低露点のクリーンルーム装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：萩原康司 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999145539
Publication number (International publication number)：2000337675
Application date： May. 25, 1999
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】外気の流入によって露点が上昇することのない低露点のクリーンルーム装置を提供する。【解決手段】 FFU20が配置された給気面12と,クリーンルーム11内の空気を排気させる排気面13と,クリーンルーム11の外において排気面13から給気面12に空気を戻す還気径路(15,16,14)と,還気径路に設けられた冷却コイル35を備えた低露点のクリーンルーム装置1であって,還気径路内において少なくとも冷却コイル35よりも下流側の気圧を,クリーンルーム装置1の外部気圧と等しいかもしくはそれよりも高圧にさせることにより,クリーンルーム装置1の外部からの空気の流入を防ぐ。

Claim (excerpt)：

ファンフィルタユニットが配置された給気面と,クリーンルーム内の空気を排気させる排気面と,クリーンルームの外において排気面から給気面に空気を戻す還気径路と,還気経路に設けられた空気抵抗部材を備えたクリーンルーム装置であって,前記還気径路内において少なくとも前記空気抵抗部材よりも下流側の気圧を,クリーンルーム装置の外部気圧と等しいかもしくはそれよりも高圧にさせる加圧手段を設けたことを特徴とする,低露点のクリーンルーム装置。

F-Term (2)：

3L058BD06 , 3L058BG01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

局所密閉型清浄装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-163247 Applicant：高砂熱学工業株式会社
クリーンルーム構造
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-291705 Applicant：新日本空調株式会社
サーマルチャンバー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-056329 Applicant：石川島播磨重工業株式会社, アイ・シー・エイ・テクノロジー株式会社

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