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J-GLOBAL ID：200903083031065249

基板の保持装置及び保持方法

Inventor： 橋本 博士
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 萩原 康司 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998095354
Publication number (International publication number)：1999274278
Application date： Mar. 23, 1998
Publication date： Oct. 08, 1999
Summary：

【要約】【課題】 基板が位置決めが正しく行われたことを確実に検知できる保持装置と方法を提供する。【解決手段】 基板Gを保持手段35に保持させる保持装置33において,搬入された基板Gを受け取る第3の位置イと,基板Gの位置決めを行う第1の位置ロと,基板Gを保持手段35に保持させる第2の位置ハとに基板Gを昇降移動させる移動手段37と,第1の位置ロにおいて基板Gを位置決めするガイド手段40と,第1の位置ロにおいて基板Gが位置決めされていることを検知するセンサ手段とを設けたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

基板を保持手段に保持させる保持装置において,基板の位置決めを行う第1の位置と,基板を保持手段に保持させる第2の位置とに基板を昇降移動させる移動手段と,第1の位置において基板を位置決めするガイド手段と,第1の位置において基板が位置決めされていることを検知するセンサ手段と,を設けたことを特徴とする基板の保持装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 643

FI (5)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/68 G ,  H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/30 569 C

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 円形基板の位置決めユニットと位置決め方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-028011   Applicant：富士通株式会社, 富士通ヴィエルエスアイ株式会社
• 半導体製造装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-237965   Applicant：九州日本電気株式会社
• ウェーハ用チャック
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-177534   Applicant：東芝セラミックス株式会社

Cited by examiner (3)

• 円形基板の位置決めユニットと位置決め方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-028011   Applicant：富士通株式会社, 富士通ヴィエルエスアイ株式会社
• 半導体製造装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-237965   Applicant：九州日本電気株式会社
• ウェーハ用チャック
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-177534   Applicant：東芝セラミックス株式会社